판매용 중고 ULVAC Ei-501z #293797461

ULVAC Ei-501z는 반도체, 디스플레이 및 기타 첨단 제조 산업의 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 성능, 유연성, 신뢰성을 제공하여 최신 씬 필름 (Thin Film) 제작 프로세스의 까다로운 요구 사항을 충족시킵니다. Ei-501z에는 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 가 장착되어 있으며, 다른 스퍼터링 기술에 비해 높은 증착률과 뛰어난 영화 품질을 가능하게합니다. 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 는 저압 가스 환경에서 플라즈마 방전을 생성하여 기질에서 매우 효율적인 물질 스퍼터링 및 증착을 초래한다. ULVAC Ei-501z의 주요 특징 중 하나는 고급 제어 장치 (Advanced Control Unit) 로 스퍼터링 파워, 가스 흐름 속도, 대상 재료, 기판 온도 등의 프로세스 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 수준의 제어는 넓은 기판 영역에 균일 한 필름 두께, 컴포지션 및 특성을 보장하며, 전기, 광학, 기계적 특성이 뛰어난 고품질 박막으로 이어집니다. 이 기계에는 여러 개의 음극이 장착되어 있으므로 다른 재료의 공동 스퍼터링 (sputtering) 이 가능하여 복잡한 다중 계층 구조 또는 맞춤형 특성을 가진 합금 필름 (alloy film) 을 만들 수 있습니다. 이 기능을 통해 Ei-501z는 사용자 정의된 박막 구성물 (Thin Film Composition) 을 작성해야 하는 연구 및 개발 활동에 이상적입니다. 또한 ULVAC Ei-501z는 도구 작동 및 모니터링을 단순화하는 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖추고 있습니다. GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 는 프로세스 매개변수, 자산 상태, 경보 알림에 대한 실시간 피드백을 제공하며, 운영자가 프로세스 조건을 최적화하고 문제를 효율적으로 해결할 수 있도록 합니다. 증착 성능 측면에서, Ei-501z는 사용 된 공정 매개변수 및 대상 재료에 따라 초당 몇 옹스트롬 (angstrom) 에서 시간당 몇 미크론 (micron) 까지 광범위한 증착 속도를 제공합니다. 이 다재다능성은 모델을 보호 코팅 (protective coating), 광학 필터 (optical filter), 전자 장치 및 센서 (sensor) 에 이르기까지 다양한 박막 응용 프로그램에 적합합니다. 이 장비의 챔버 설계는 대형 기판 플래튼 (platen), 빠른 펌프 다운 시간 (pumpdown time), 유지 보수 및 청소를 위한 간편한 액세스와 같은 기능을 통해 처리량이 많은 생산에 최적화되었습니다. 이 설계는 최고의 생산성과 가동 시간을 보장하며, 다운타임을 줄이고, 전반적인 시스템 효율성을 향상시킵니다. 또한, ULVAC Ei-501z는 운영 중 운영자와 환경을 보호하기 위해 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 기능에는 인터 록 (Interlock), 가스 센서 (Gas Sensor) 및 긴급 종료 절차가 포함되어 있어 사고 예방과 위험 요소 최소화, 진공 환경 운영 등이 있습니다. 결론적으로, Ei-501z는 첨단 산업 분야의 박막 증착 어플리케이션에 탁월한 성능, 유연성, 신뢰성을 제공하는 최첨단 스퍼터링 장치입니다. 고급 제어 기능, 증착 성능, 사용자 친화적 인터페이스, 안전 기능을 갖춘 ULVAC Ei-501z 는 최신 제조 공정의 특정 요구 사항에 맞춘 고품질 박막 (Thin Film) 을 제작하는 다용도 도구입니다.