판매용 중고 ULVAC EI-5 #9107280

ULVAC EI-5는 박막 증착에 사용되는 고급 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링에서 탁월한 유연성과 균일성을 갖춘 5 챔버 동시 스퍼터링 (2 챔버 vs 3 챔버) 을 제공하여 고성능 반도체 및 MEMS 장치를 위해 단단하고 부드러운 자기 재료를 포함한 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 장치. EI-5 의 고정밀도 바이어스 스퍼터링 (bias sputtering) 기능은 넓은 영역에서 가장 높은 프로세스 균일성을 제공하여 웨이퍼에 걸쳐 뛰어난 제품 일관성을 제공합니다. 시스템의 설계 기능은 정확한 제어를 위해 만들어졌으며, 사용자는 고속 DC 스퍼터링, 고속 플럭스 펄스 DC 스퍼터링, 매우 높은 속도 하이브리드 DC/펄스 마그네트론 스퍼터링 등 다양한 스퍼터링 프로세스 중에서 선택할 수 있습니다. 조정 가능한 챔버 (chamber) 크기는 대용량 프레임을 포함하여 모든 기판 크기를 수용할 수 있는 고유한 기능을 제공합니다. ULVAC EI-5 장치는 또한 박막 증착 및 목표 사용률의 균일성을 향상시키는 최적화 된 스퍼터 디자인을 제공합니다. 최적의 타겟 설계를 통해 여러 개의 작은 타겟을 사용할 필요가 없습니다. 즉, 스퍼터 (sputter) 프로세스 감소의 비용을 단순화하고 절감할 필요가 없습니다. 또한, 스퍼터링 음극의 내부 차폐 설계는 자기 시선 (line-of-sight) 위험을 제거하고 챔버 간의 교차 오염을 방지하는 데 도움이됩니다. 닫힌 루프 프로세스 (closed loop process) 를 모니터링하고 제어하면 일관된 결과가 나오며 런타임과 품질이 최적화됩니다. EI-5는 스퍼터 소스, 전원 공급 장치, 가스 처리, 공정 컨트롤러, 안전 시스템 등 가장 까다로운 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 진공 부품 및 액세서리를 갖추고 있습니다. 쉽게 사용할 수 있고 뛰어난 성능을 제공하는 ULVAC EI-5 (ULVAC EI-5) 는 신뢰할 수 있는 고품질 제품을 제공할 수 있는 스퍼터링 머신을 원하는 사용자에게 꼭 필요한 제품입니다. 모듈식 (modular) 확장 가능한 설계를 통해 간편한 애플리케이션에서 까다로운 애플리케이션에 이르기까지 다양한 요구 사항을 충족할 수 있으며, 비용 절감과 성능 극대화를 위한 완벽한 선택입니다 (영문).