판매용 중고 ULVAC EI-5 #293828476
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ID: 293828476
빈티지: 2006
E-Beam evaporator
Pump
Pump cover
Blue box
Power supply
2006 vintage.
ULVAC EI-5는 스퍼터링 장비로, 전자 부품 및 장치 생산에 사용됩니다. 산업용 도구 (industrial tool) 로서 다양한 전자 부품용 박막 (thin film) 레이어를 효율적으로, 안정적으로 만드는 방법을 제공합니다. EI-5는 이온 챔버를 사용하며, 여기에는 많은 스퍼터링 대상이 있습니다. 이러한 목표는 최적화된 균일성과 청결성을 제공하기 위해 다양한 각도로 배치됩니다. 챔버 내부에서, 표적은 강력한 전기 방전을 받는다. 이것 은 진공 상태 를 조성 하며, 그 다음 에는 "아르곤 '과 같은 비활성" 가스' 로 채워진다. 비활성 "가스 '가 전기장 을 통과 할 때, 그것 은" 이온' 의 폭격 을 일으키며, 이것 은 표적 표면 으로부터 물질 을 분출 시키는 역할 을 한다. 그런 다음, 이 스퍼터링 된 물질 은 기질 에 고착 하여, 표면 에 얇은 막질 을 형성 한다. 울박 EI-5 (ULVAC EI-5) 는 원하는 필름 두께를 유지하기 위해 시스템의 압력과 전압을 조절하는 기능으로 설계되었다. 또한, 장치 설계는 또한 동일한 챔버에 여러 대상 (target) 과 기판을 사용할 수 있도록 허용합니다. 이 기능은 단일 처리 주기 (processing cycle) 에 여러 개의 박막 레이어를 적용하여 생산 효율을 높입니다. EI-5에는 고급 안전 및 모니터링 기능도 장착되어 있습니다. 인라인 안전 모니터 (In-line Safety Monitor) 는 기계의 압력 및 전기 매개변수를 검사하여 자세한 안전 지침을 충족시킵니다. 공구의 전기 매개변수를 실시간으로 모니터링하기 위해 호 (arc) 검출기도 포함됩니다. 이를 통해 운영자는 잠재적인 위험을 피하기 위해 자산을 신속하게 조정할 수 있습니다 (영문). 결론적으로, ULVAC EI-5는 산업 스퍼터링 모델로, 전자 산업에 사용되는 박막 층, 금속 필름 및 기타 부품을 효율적으로 생산하도록 설계되었습니다. 사용이 간편한 운영, 안전 (Safety) 기능, 고급 모니터링 기능을 갖춘 EI-5는 견고성 있고 경제적인 선택으로 스퍼터링 요구 사항을 충족합니다.
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