판매용 중고 ULVAC EI-5 #293824737

ULVAC EI-5는 넓은 지역 기판에 얇은 필름을 코팅하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. EI (Electron Impact) 스퍼터링 프로세스를 사용하여 단일 또는 다중 성분 필름의 얇은 코팅을 플랫 또는 곡선 기판 표면에 배치합니다. 이 시스템에는 전자 빔의 에너지를 사용하여 음극 표적에 영향을 미치고 스퍼터링 된 물질을 생성하여 기판 위에 박막 코팅 (thin-film coating) 을 형성하는 EI 소스가 포함되어 있습니다. EI 소스는 금속, 합금, 절연체 및 유전체를 포함한 다양한 재료 유형을 배치하는 데 사용될 수 있습니다. EI-5 스퍼터링 장치 (sputtering unit) 는 넓은 영역 기판을 높은 균일성으로 코팅 할 수있는 듀얼 존 챔버 디자인을 특징으로합니다. 챔버는 2 개의 진공 챔버 (주 챔버 및 완충 챔버) 로 구성됩니다. 표본 을 "메인 챔버 '에 적재 하고, 대피 한" 버퍼 챔버' 는 "스퍼터링 '과정 중 에 주" 챔버' 의 압력 을 유지 하는 데 도움 이 된다. 이를 통해 코팅이 전체 샘플 서피스에서 균일하게 형성 될 수 있습니다. ULVAC EI-5 머신에는 코팅 프로세스 동안 샘플을 시각적으로 검사 할 수있는 뷰 포트 (view port) 및 측면 액세스 포트 (side access port) 도 있습니다. EI-5 스퍼터링 도구 (Sputtering Tool) 에는 높은 필름 밀도와 균일성을 생성 할 수있는 넓은 면적 목표를 가진 강력한 전자 빔 소스가 포함되어 있습니다. ULVAC EI-5는 또한 특정 재료 형성을 최적화하기 위해 프로그래밍 가능한 RF 전원을 사용합니다. 이를 통해 스퍼터링 프로세스를 다른 필름 재료 및 기판 유형에 맞게 사용자정의할 수 있습니다. 또한, 자산에는 산화 마그네슘 (MgO) 세라믹 표적 보유자가 장착되어 있으며, 이는 증착 속도를 높이고, 스퍼터 된 물질을 기질에 수용하는 것을 개선 할 수있다. 마지막으로, 이 모델에는 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System) 이 포함 된 워크샵 진공 장비 및 안전 장비가 포함됩니다. 즉, 장치가 안전하게 작동되고 올바른 작동 절차가 수행됩니다. 뿐 만 아니라, 기계 는 조작, 유지 보수, 청소 를 쉽게 할 수 있도록 인체 공학적 배열 로 설계 되었다. 전반적으로, EI-5 (EI-5) 는 균일성과 증착률이 높은 넓은 지역 기판에 다양한 재료의 박막 (thin film) 을 입금하는 데 사용될 수있는 고도의 스퍼터링 도구입니다. 프로그래밍 가능한 RF 전원, MgO 세라믹 대상 보유자 및 고급 안전 기능을 통해 PVD 박막 코팅 응용 프로그램에 이상적인 자산입니다.