판매용 중고 ULVAC EI-5 #293690584

ULVAC EI-5는 일본에서 설계되고 ULVAC Technologies에서 제조 한 산업용 스퍼터링 시스템입니다. 자기장 발전기 (magnetic-field generator) 와 안정성이 높은 진공 챔버 (vacuum chamber) 가있는 1 피스 구조로, 정확도가 높은 물리적 증기 증착에 최적의 선택입니다. EI-5 (EI-5) 는 두 가지 유형의 목표를 동시에 처리 할 수 있으며, 다양한 복합 박막 생산에 매우 다양합니다. 컴팩트한 디자인, 뛰어난 동작 유연성, 저전력 소비량 (Low Power Consumption) 으로, 오랜 시간 동안 지속적으로 작동하기에 적합합니다. ULVAC EI-5의 자기장 생성기 (magnetic field generator) 는 고효율적이고 내구성이 뛰어난 이중 회전 마그네트론, 선형 모터 드라이버 및 현재 모니터로 구성됩니다. 전류를 제어하고 DC/RF 전력을 조사함으로써 EI-5는 마그네트론 스퍼터링을 쉽고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 최대 스퍼터링 속도는 단일 대상을 사용하여 510 nm/min입니다. ULVAC EI-5의 진공실은 새로 설계된 6 포켓 셀을 채택하고 거친 밸브를 갖추고 있습니다. 액티브 러핑 시스템 (active roughing system) 은 진공 안정성을 향상시켜 진공 압력 조정에 소요되는 시간을 크게 줄입니다. 챔버 인테리어는 또한 집착 재료를 줄이기 위해 스테인리스 스틸 메쉬로 코팅됩니다. EI-5는 매우 효율적이며 처리량이 뛰어납니다. 이 제품은 제어 및 모니터링을 위한 통합 PC, 다양한 고정밀도 센서, 개선된 프로세스 제어 시스템 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. Opto-Electronic, 평면 패널 디스플레이 및 반도체 생산 프로세스에 이상적인 옵션입니다.