판매용 중고 ULVAC EI-5 #293648862

ULVAC EI-5 스퍼터링 장비는 박막 및 금속 산화물 층을 생산하도록 설계된 고성능 증착 시스템입니다. 정밀 박막 증착, 보호 코팅, 접착층, 금속 산화물 코팅, 반도체 재료의 박막 층화 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. EI-5의 코어는 소형의 ULVAC 전자 빔 직류 스퍼터링 기술을 사용하며, 농축 전자 빔과 결합 된 평면 마그네트론을 사용하여 균질 한 박막을 생성합니다. 4 축 조작기는 전자 빔의 정확한 제어 및 방향을 제공하여 넓은 지역에 걸쳐 균일하고 반복 가능한 박막 증착을 제공합니다. 이 장치에는 역기판으로 인한 비 통일성 프로세스를 제거하기 위해 CRT (Chamber Roll-Tilting Feature) 가 장착되어 있습니다. ULVAC EI-5는 매우 정밀하게 다양한 두께와 속도를 가진 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다. 공정 반복 능력이 높으며, 수직 또는 수평 구성으로 작동할 수 있습니다. 온보드 래스터 스캔은 최대 5mm/sec의 스캔 속도로 사용할 수 있습니다. 이 기계는 또한 자동 이온화 (Deonization) 및 클리닝 (Cleaning) 을 특징으로하며, 오염 방지 및 작동 중 빠르고 효율적인 기판 변경을 허용합니다. EI-5 스퍼터링 도구는 진공 플라즈마 클리너, 소스, 대상 및 마스크와 같은 많은 ULVAC 액세서리와 호환됩니다. 또한 내장형 자산 컨트롤러 (Asset Controller) 가 장착되어 있어 쉽고 정확한 프로세스 관리 및 디지털 비주얼 인터페이스 (Visual Interface) 를 통해 매개변수, 레시피, 기록 기록 등을 손쉽게 조정할 수 있습니다. 전반적으로, ULVAC EI-5는 매우 효율적이고 고급 스퍼터링 (sputtering) 모델을 제공하며, 정확성과 반복성을 갖춘 고품질 레이어 및 구조를 생산하는 데 적합합니다. 컴팩트한 크기와 유연성을 통해 다양한 박막 증착 어플리케이션 (Thin film deposition application) 에 이상적인 솔루션이 됩니다.