판매용 중고 ULVAC CS-500 #9313964

ULVAC CS-500은 얇은 재료를 표면에 침전시키는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고성능 코팅, MEMS 및 기타 마이크로 일렉트로닉 구조의 생산과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 이 장치는 주 진공 챔버로 구성되며, 샘플 난방, RF- 바이어스, 평면 마그네트론 스퍼터링 (planar magnetron sputtering) 과 같은 공정을 위해 다른 여러 진공 챔버로 둘러싸여 있습니다. 메인 챔버 (Main Chamber) 는 대상 재료가 배치 된 후 장치 표면에 스퍼터링 된 위치입니다. 주 "챔버 '에는 여러 가지 압력," 가스' 및 누출 탐지기 와 "스퍼터링 '과정 의 안전 과 작동 을 보장 하기 위한 여러 가지 안전 조절 장치 가 있다. CS-500은 일련의 평면 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 목표를 활용하며, 특별한 도구 없이 빠르고 쉽게 변경할 수 있습니다. 각 대상은 최대 400 ° C까지 가열 할 수 있으며 DC 및 RF 스퍼터링에 모두 사용할 수 있습니다. 평면 마그네트론 대상은 다양한 구성으로 구성 될 수 있으며, Ti/W/Au, 다이아몬드 같은 탄소, 비정질 실리콘 및 기타 합금과 같은 다양한 재료를 표면에 배치하는 데 사용될 수 있습니다. ULVAC CS-500에는 스퍼터링 압력 (Sputtering Pressure) 의 정확한 조정과 증착 과정의 정확한 제어를 가능하게하는 통합 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 도 포함되어 있습니다. 이 기계는 또한 스퍼터링 도구 (예: 온도, 압력, 가스 구성, 목표 구성) 를 최적화하는 다양한 매개변수를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 필요에 맞게 스퍼터링 (sputtering) 실험을 수행할 수 있는 다양성과 유연성을 누릴 수 있습니다. CS-500은 퇴적물질의 품질과 균일성을 보장하기 위해 와전류 미터 (eddy current meter), 쿼츠 크리스탈 마이크로밸런스 (quartz crystal microbalance), 적외선 현미경과 같은 다양한 내장 측정 장치를 갖추고 있습니다. 에셋에는 스퍼터링 된 재료 데이터를 볼 수 있는 사용자 친화적 인터페이스도 내장되어 있습니다. 결론적으로, ULVAC CS-500은 강력한 스퍼터링 모델로, 스퍼터링 전문가들이 다양한 실험을 수행 할 수있는 다재다능성과 유연성을 제공합니다. 이 장비는 사용하기 쉽고 다양한 내장 (BIST) 기능을 통해 사용자가 최적의 결과를 얻기 위해 매개변수를 조정할 수 있습니다. 코팅 증착, MEM 설계 또는 고급 재질 증착 (Advanced Material Deposition) 을 원하든 간에, CS-500은 사용자의 요구에 적합한 안정적이고 효율적인 시스템입니다.