판매용 중고 ULVAC CS-200 #9328776
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ID: 9328776
빈티지: 2007
Sputtering system
P/N: RS13-30170A
Carrier: 220φ Tray
Cathode: T/S Variable, 12"
SiC Heater
Maximum temperature: 300°C
RF Power supply: 3 kW
2007 vintage.
ULVAC CS-200은 독립형 또는 인라인 운영을 위해 설계된 고품질 스퍼터링 장비입니다. 업계에서 인정받는 박막 처리 애플리케이션 선두 기업인 울박 (ULVAC) 이 개발한 업계 최고의 시스템 중 하나다. CS-200은 마그네트론 및 다이오드 스퍼터링 메탄, 아르곤 및 보조 가스를 모두 사용하여 자기장 강화 스퍼터링을 허용합니다. 특허를 획득한 독보적인 이중 주파수 생성기를 활용하여 고주파와 저주파 스퍼터링을 모두 지원합니다. 이 기술의 결과는 매우 깨끗하고 균일 한 필름 (film) 을 생산하며, 다른 시스템에 비해 증착률 (deposition rate) 을 높일 수 있다는 것입니다. ULVAC CS-200 은 대용량 생산 환경에서 사용할 수 있도록 설계되었으며, 이러한 용도에 적합합니다. 스퍼터링 프로세스의 속도와 전압을 정확하게 제어 할 수있는 이중 주파수 (13.56MHz) 발전기가 있습니다. 이 발전기 는 또한 더 높은 "스퍼터링 '력 을 받아들이기 때문 에 증착 률 이 높아진다. 또한 자동 담요 전송 시스템 (auto-blanket transfer system) 을 통해 사용자가 스퍼터 증착을 위해 기판을 빠르고 쉽게 준비 할 수 있습니다. CS-200은 또한 최종 이펙터 완드, 버킷, 로터리 스퍼터링을위한 로터리 기판 (rotary substrate) 과 같은 광범위한 하드웨어 옵션을 자랑합니다. 이 장치에는 레시피 기반 스퍼터링/스퍼터링, 스퍼터 매개변수 조정, 다중 기판/대상 스퍼터링 등의 다양한 소프트웨어 옵션이 있습니다. 또한, 이 기계에는 PLC (programmable logic controller) 가 내장되어 있어 스퍼터링 프로세스를 쉽고 효율적으로 자동화할 수 있습니다. 또한 ULVAC CS-200 은 vacuum tool leak sensor, ground fault protector, complete CE compliance asset 등 다양한 안전 기능을 제공합니다. 또한 다양한 사용자 옵션 (User Option) 을 제공하며, 다양한 스퍼터링 요구를 충족하기 위해 모델을 쉽고 빠르게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로, CS-200은 대용량 생산 및 소규모 전문 스퍼터링 (sputtering) 모두에 적합한 다양한 기능을 갖춘 최고의 스퍼터링 장비입니다. 다양한 안전 기능 (Safety Features) 이 제공되며, 사용자는 시스템을 사용할 때 자신감을 느낄 수 있습니다. 또한 다양한 하드웨어/소프트웨어 옵션 (하드웨어/소프트웨어) 을 제공하여 사용자가 원하는 대로 장치를 조정할 수 있도록 합니다.
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