판매용 중고 ULVAC CS-200 #9156832

ULVAC CS-200은 진공 기술의 리더 인 ULVAC에서 설계 및 제조 한 스퍼터링 장비입니다. 반도체 디바이스 제작, 광 구성 요소, 데이터 스토리지 등 애플리케이션을 위한 박막 (Thin Film) 증설을 위해 설계되었습니다. CS-200은 마그네트론 스퍼터링을 사용하는 탁상 단일 챔버 시스템입니다. 설치가 쉽고 적당히 높은 증착률에 적합합니다. ULVAC CS-200은 최대 300mm의 최대 기판 크기에 도달 할 수있는 최대 6 개의 기판 홀더가있는 원형 기판 테이블을 사용합니다. 소스 (source) 는 기판 테이블 바로 위에 마운트되며 기판 서피스 위로 독립적으로 이동하여 균일 한 침전물을 생성할 수 있습니다. 이 장치는 표준 마그네트론 및 rf-sputtering 소스를 포함하여 최대 4 개의 스퍼터링 소스를 수용 할 수 있습니다. 터보 분자 펌프는 기계에 기본 압력 2 x 10-5 Pa.를 제공합니다. 총 펌핑 속도 10,000 L/s의 로터리 베인 펌프와 연결됩니다. 또한 깨끗하고, 다양하며 사용하기 쉬운 터치 스크린 인터페이스가 있습니다. CS-200 은 또한 Set Point 이상으로 압력이 상승할 때 고전압 소스를 자동으로 비활성화하는 압력연동장치 (Pressure Interlock Tool), Chamber 에 의도하지 않은 노출 방지 (Motorized Shutter) 및 팬 모니터 (Fan Monitor) 를 포함하여 다양한 안전 기능을 활용합니다. ULVAC CS-200은 다중 목표가 필요한 것을 포함하여, 낮은 속도에서 적당한 속도의 스퍼터링 어플리케이션을 위해 완벽한 선택입니다. 소스의 독립적 인 이동 및 고정밀 압력 연동 자산 (High-Precision Pressure Interlock Asset) 과 같은 고급 기능은 반복성과 정확한 필름 증착을 보장합니다. CS-200 의 신뢰성 있고 효율성이 높은 작동을 통해 사용자는 스퍼터링 (sputtering) 모델을 최대한 활용할 수 있습니다.