판매용 중고 ULVAC Ceraus #9137188

ULVAC Ceraus는 박막 증착의 고급 제어를 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 대용량 기판과 높은 처리량 (throughput) 을 위한 탁월한 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 하나의 진공 챔버 (vacuum chamber) 설계에 모든 기능을 갖추고 있으며, 이는 여러 프로세스 스테이션 (소스, 전송, 대상) 이 장착 된 단일 챔버로, 로드, 기판 수신, 프로세스 간 전환 등의 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 반도체, 금속, 도자기, 유리 등 다양한 기판 재료를 처리 할 수 있습니다. Ceraus 머신에는 고성능 RF 전원 공급 장치 및 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있어 4 마스크 작동 모드로 탁월한 증착 기능을 제공합니다. 4 마스크 모드는 여러 대상을 동시에 사용하여 각 대상 사이에 가변 무선 주파수 (RF) 전원 분배를 허용합니다. 기술자가 구성률과 두께가 다른 매우 다양한 박막 (thin film) 을 입금할 수 있도록 함으로써 증착율 (deposition rate) 과 필름 균일성 (film unifority) 을 잘 제어할 수 있습니다. 또한, 이 도구는 고급 강착 절연 (advanced deposition insulation) 및 온도 조절 시스템 (temperature control systems) 을 사용하여 프로세스의 효율성과 반복성을 극대화합니다. 인슐레이션 에셋 (insulation asset) 은 프로세스 중 챔버 벽 (chamber wall) 에서 열 손실을 제한함으로써 균일 한 증착을 촉진하는 반면, 온도 조절 모델은 증착 온도를 적극적으로 조정하여 최적의 프로세스 효율성을 제공합니다. ULVAC 세라우스 (ULVAC Ceraus) 장비는 기판 적재 및 스위칭 시간이 빠른 처리량 어플리케이션을 위해 설계되어, 생산이 빨라집니다. 사용이 간편한 사용자 인터페이스는 레시피 입력, 프로세스 모니터링, 데이터 획득 등 다양한 기능을 제공합니다. 이 시스템은 네트워킹 (networking) 도 지원하여 프로세스의 매개변수에 대한 원격 모니터링 및 액세스를 허용합니다. Ceraus 스퍼터링 장치는 태양 광 공학, 센서, LED 생산, MEMS 및 micromachining 분야의 다양한 고급 응용 분야에 이상적입니다. 탁월한 균일성, 반복성, 긴 서비스 수명, 광범위한 소재와의 호환성 등을 제공하면서 증착률 (Deposition Rate) 및 품질이 뛰어난 박막 (Thin Film) 을 제공합니다.