판매용 중고 ULVAC Ceraus #9137187

ULVAC Ceraus는 ULVAC, Inc.에서 제조 한 스퍼터링 장비로, 유리 또는 실리콘과 같은 기판에 재료를 증착하는 데 사용됩니다. 세라우스 (Ceraus) 는 전통적인 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 보다 더 큰 기판 크기를 수용하도록 설계되었으므로 더 큰 지역 증착이 필요한 응용 분야에 적합합니다. ULVAC 세라 우스 (ULVAC Ceraus) 는 부동 기판 홀더 (floating substrate holder) 를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 표적 재료에 대한 기판의 위치를 조정 할 수 있습니다. 이 에 더하여, 이 "시스템 '은 기계" 펌프' 를 백업 한 자기 부양 으로 최적화 된 진공실 구조 를 가지고 있어서 뛰어난 기판 환경 조절 을 제공 한다. 따라서 고정밀 박막 증착 프로세스에 적합합니다. 또한 유연한 전원 공급 장치 (Flexible Power Supply) 를 통해 사용자는 전압과 전류를 원하는 수준으로 변경할 수 있습니다. 이를 통해 증착률이 빨라지고, 기존의 스퍼터링 시스템보다 품질이 높은 증착이 가능합니다. 또한, ULVAC Ceraus에는 독립적 인 가스 공급이 있으며, 이를 통해 사용자는 스퍼터 된 물질 증착을 위해 아르곤, 수소, 질소 및 산소와 같은 반응성 가스를 장치에 도입 할 수 있습니다. 이것은 장벽 층 (barrier layer) 및 광학 코팅 (optical coating) 과 같은 프로세스에 필수적입니다. 안전 측면에서 Ceraus 는 (는) 오작동 시 오류 메시지를 표시하도록 설계되었습니다. 이 메시지는 사용자에게 적절한 수정 조치를 취하도록 경고합니다. ULVAC 세라우스 (ULVAC Ceraus) 는 또한 대피 및 냉각을 가지고 있으며, 항상 챔버 내에서 우수한 대기 제어를 보장합니다. 뿐 만 아니라, 기계 의 견고 한 설계 와 기계적 안정성 은 표적 물질 전체 에 걸쳐 "에너지 '의 균일 한 분포 를 유지 하는 데 도움 이 되며, 그 결과" 코우팅' 에 입자 가 적어진다. 세라우스 (Ceraus) 는 비용 효율적인 스퍼터링 툴로, 재료를 기판에 빠르게 배치할 수 있으며, 품질이 높으며, 결함이 적습니다. 종합적인 특징은 우수한 기판 환경 제어, 반응성 가스 사용 능력을 보장하여 ULVAC 세라 우스 (Ceraus) 는 다양한 스퍼터링 프로세스에 적합합니다.