판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9409842

ULVAC Ceraus ZX-1000은 박막 재료를 기판에 매우 정확한 방식으로 입금하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비 (sputtering equips) 입니다. 금속, 합금, 금속, 중합체, 절연체 및 기타 특수 재료를 포함한 다양한 소스 재료를 사용하여 다양한 박막 구조를 만듭니다. 이 시스템은 DC 또는 마그네트론 스퍼터링, 이온 빔 스퍼터링 (IBS) 및 전자 빔 증발 (EB) 과 같은 3 가지 증착 공정으로 최대 4 미터의 증착 면적을 제공 할 수 있습니다. 이 장치는 강력한 챔버 설계를 특징으로하며, 4 단계 회전 터보 분자 펌핑 머신 (turbomolecular pumping machine) 을 사용하여 챔버 내의 압력을 대기의 백만 분의 1 이하로 유지합니다. 기판 교환이 용이한 멀티 포지션 틸팅 터렛 (multi-position tilting turret) 과 프로세스 실행 중 최적의 챔버 환경을 유지하기 위한 외부 샘플 베이킹 (external sample baking) 옵션이 있습니다. 또한, 챔버에는 대기 조절을위한 내부 가스 분사 도구 (gas injection tool) 와 자동 유속 조정을위한 자동 가스 제어 장치 (auto-gas control unit) 가 있습니다. 이 자산에는 고급 하이브리드 펄스 전원 공급 장치 (Hybrid Pulse Power Supply) 기술과 고주파 생성기 옵션을 갖춘 Tofutron RF/DC 전원 공급 장치가 포함되어 있어 증착률이 높고 프로세스 안정성이 향상됩니다. 전원 공급 장치는 HF/DC 2 극 전원 및 고주파 전원 공급 장치 구성의 고급 마그네트론 (magnetron) 소스를 포함한 다른 플라즈마 프로세스 구성 요소와 결합 될 수 있습니다. 모델 내에서 여러 매개변수의 조합을 통해 재료 강착 속도, 균일 성, 접착 및 결정 성 완벽 수준을 정확하게 제어 할 수 있습니다. ULVAC CERAUS ZX 1000은 고정밀 스퍼터링 응용 프로그램을 위해 다양한 기능을 제공합니다. 산소 및 비활성 게이지, 압력 게이지 디스플레이, SEM 사진 등 근접 프로세스 제어를 위한 고급 모니터링 장비가 있습니다. 또한 터치스크린 인터페이스를 통해 시스템을 원격 모니터링, 제어할 수 있습니다. 더욱이, 이 장치는 가스 탐지기, 청소 도구, 비상 차단 기능과 같은 고급 안전 기능을 제공합니다. 결론적으로, Ceraus ZX-1000은 정밀 스퍼터링 응용 프로그램을 위해 설계된 고급, 신뢰할 수있는 자산입니다. 견고한 챔버 설계, 다중 증착 프로세스 구성, 고급 RF/DC 전원 공급 장치, 통합 안전 시스템 등 다양한 최첨단 기능을 제공합니다. 이 기능은 고품질 박막 프로세스를 보장하며, 이 모델을 리서치 및 프로덕션 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택으로 만듭니다.