판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274947
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ID: 9274947
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Sputtering system, 8"
Turbo pump: TMP 202LM
Reflow
Degas
Ti/TiN
(2) AI
Cryo pump: Cryo-T8S
With (2) RS10 Refrigerators
Cryo pump: Cryo-T8PN
With (2) RS5 Refrigerators
1995 vintage.
ULVAC Ceraus ZX-1000은 고품질 PVD (Physical Vapor Deposition) 프로세스를 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 여러 가지 얇은 "코우팅 '을 모든 모양, 크기, 재료 의 기판 에 증착 시킬 수 있다. 특히 하드 디스크 저장 (hard disk storage), 반도체, LCD, 태양열 전지 등 다양한 스토리지 디스크 코팅에 적합합니다. ULVAC CERAUS ZX 1000에는 스퍼터링 증착을위한 2 개의 마그네트론 스퍼터링 음극과 1 개의 전자 빔 건이 있습니다. 이중 음극 스퍼터링 기능을 통해 증착률이 최대 400nm/min이며 SRP < 1% 를 달성 할 수 있습니다. 전자 빔 건 (electron beam gun) 은 고지향성 입자 스트림으로 더 큰 정밀도를 제공 할 수 있으며, 이를 통해 코팅의 더 높은 속도와 향상된 접착력을 얻을 수 있습니다. 또한, 이 시스템에는 산화 처리에 사용될 수있는 산소 제어 챔버 (oxygen-controlled chamber) 와 증착 기질을 준비하기 위해 초음파 후면 청소 (ultrasonic rear surface cleaning) 가 장착되어있다. 장치의 성능과 정확성을 보장하기 위해, 코팅 (coating) 의 품질을 확인하기 위한 검사 및 테스트 툴이 내장되어 있습니다. 여기에는 종단점 감지 (end-point detection), 두께 측정 (thickness measurements) 및 프로세스 조건과 완료된 제품을 관찰하는 기타 일상적인 테스트가 포함됩니다. 세라우스 ZX-1000 (Ceraus ZX-1000) 에는 도구 컨트롤러가 있어 웹 기반 액세스를 통해 어디에서나 작동할 수 있습니다. CERAUS ZX 1000 스퍼터링 자산은 사용자에게 많은 이점을 제공합니다. 광학 부품, 자기 또는 자기 광학 기록 매체, 박막 태양 전지 등 다양한 코팅 응용 프로그램에 적합합니다. 결과에서 정확성과 정확성을 제공하면서 높은 증착률을 달성 할 수 있습니다. 이 모델에는 테스트 및 검사 도구가 내장되어 있으며, 원격으로 작동할 수 있어 편리하고 효율적입니다. ULVAC Ceraus ZX-1000 스퍼터링 (sputtering) 장비는 다양한 기능을 통해 사용자에게 다양한 옵션을 제공하는 유리한 시스템입니다.
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