판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274945

ULVAC Ceraus ZX-1000은 박막 증착 기술을 위해 광범위한 응용 프로그램을 가능하게하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 고주파 무선 주파수 (RF) 반응성 스퍼터링을 사용하여 두께, 밀도, 응력이 낮고 전기 및 광학성이 뛰어난 필름을 생성합니다. 이 기술을 사용하여, 박막 (thin film) 은 모양 또는 크기의 금속, 유리 또는 세라믹 기판에 적용 될 수 있으며, 필름 특성을 조정하고 궁극적으로 복잡한 구조를 만들 수있는 기능을 제공합니다. ULVAC CERAUS ZX 1000 은 모듈식 (modular) 설계를 통해 지정된 애플리케이션의 특정 요구 사항을 충족하도록 구성할 수 있습니다. 두 개의 챔버가 있습니다. 프로세스 챔버 및 사전 프로세스 챔버. 공정 챔버에서, RF 스퍼터링은 제어 된 환경 내에서 기판에 박막 (thin film) 을 입금하는 데 사용된다. 이 챔버 (Chamber) 는 높은 증착률과 프로세스 매개변수의 정확한 제어를 가능하게하는 페데스탈 주파수 스퍼터링 시스템 (Pedestal Frequency Sputtering System) 을 특징으로합니다. 사전 처리 챔버에서, 디가 싱, 광선 방전, 가벼운 O2 에칭과 같은 다양한 필름 준비 기술을 구현 할 수있다. 이 장치에는 전체 증착 (deposition) 프로세스를 효율적이고 정확하게 제어할 수 있도록 설계된 고급 소프트웨어 (advanced software) 패키지가 장착되어 있습니다. 여기에는 진공 청소 주기, 자동 복원 보호, 사전 설정된 조건에서 중지, 데이터 로깅 등 여러 가지 고급 기능이 있습니다. 이 기계는 직관적이고 사용자 정의 가능한 작동으로 사용자 친화적으로 설계되었습니다. RF 스퍼터링 공정은 금속, 산화물, 질화물, 합금 필름 등 다양한 박막 재료를 퇴적시키는 데 사용될 수 있습니다. 이 필름은 수 나노 미터 (nm) 에서 수 밀리미터 (mm) 에 이르는 두께로 증착 될 수 있으며 반도체, 평면 패널 디스플레이, 광학 부품 및 의료 기기와 같은 응용 분야에 사용될 수 있습니다. Ceraus ZX-1000은 또한 반사 방지 코팅, 보호 코팅 및 장식 산화물 필름을 적용 할 수 있습니다. 고급 기능과 기능을 통해 CERAUS ZX 1000은 매우 다양하고 효과적인 스퍼터링 툴입니다. 모듈식 설계 (Modular Design) 와 정교한 소프트웨어 (Software) 를 통해 특정 어플리케이션 환경을 손쉽게 사용자 정의할 수 있으며, 견고한 구성을 통해 수년에 걸쳐 품질 필름 증착과 안정적인 운영을 보장할 수 있습니다.