판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9274937

ULVAC Ceraus ZX-1000은 박막 증착 및 스퍼터링 시스템의 고급 기술 제조업체 인 ULVAC에서 개발 한 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터 파워, 펄스 주파수, 각속도, 목표 영역/압력 및 공기 흐름을 독립적으로 제어하여 고정밀 필름 형성과 생산성 향상을 위해 설계되었습니다. ULVAC CERAUS ZX 1000을 사용하여 사용자는 단일 기판에 최대 4 개의 재료 필름을 동시에 형성 할 수 있습니다. 이는 특허 받은 이중 대상 기술로, 회전 대상을 사용합니다. 이 기술은 입사각에서 스퍼터 입자를 증가시켜 더 높은 속도로 증착을 가능하게합니다. 또한 이중 표적 (dual-target) 기술을 통해 각 스퍼터링 재료에 입자를 효율적으로 주입하여 다양한 기판 및 재료와 호환됩니다. Ceraus ZX-1000은 평평한 원형 스퍼터링 시스템을 사용하여 여러 대상을 설치하여 효율성을 높입니다. 이 단위는 필름 형성 조건을 최적화하고 빠른 프로세스 변경을 허용합니다. 또한 Ar, O2, N2 및 희귀 가스를 포함한 여러 유형의 입구와 직접 전류 (DC), 저주파 (LF) 및 무선 주파수 (RF) 방전을 포함한 여러 소스와 호환됩니다. CERAUS ZX 1000은 진공 챔버 (vacuum chamber) 로 구성되며, 게이트 밸브 (gate valve) 에 의해 밀봉되고 열이 챔버에 유출되지 않도록 에어스트림 유형의 냉각기를 통합합니다. 챔버 내부에는 표적, 플래터, 접지 판, 전원 장치 등 스퍼터링 도구가 있습니다. 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 는 자기장을 사용하여 스퍼터링되는 물질의 표면을 최적화합니다. 이것은 더 균일 한 필름 증착을 보장합니다. 특정 응용 요구 사항에 맞게 대상 재료를 선택할 수 있으며, 탄소, 알루미늄, 구리, 스테인리스 스틸까지 다양합니다. ULVAC Ceraus ZX-1000은 완전히 자동화되었으며, 효율성 및 보호 효과를 극대화하는 정교한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 자산은 작동하기 쉽고, 여러 기능 세트를 포함하므로, 산업 및 연구 응용프로그램에 이상적인 솔루션이 됩니다.