판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9271371
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ID: 9271371
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
System, 6"
(2) Cassettes
Etching chamber
Heating chamber
(3) Sputtering chambers.
ULVAC Ceraus ZX-1000은 다양한 목적으로 다양한 산업에서 널리 사용되는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 기계는 최고 품질 표준 (Quality Standard) 으로 제작되었으며 산업, 세라믹, 연구 및 개발 응용 분야의 스퍼터링 프로세스를 위해 설계되었습니다. 일반적으로, 스퍼터링은 화학 물질 또는 플라즈마 방전을 사용하여 물질을 기화시키는 과정 (일반적으로 금속 인 "스퍼터링 대상") 입니다. 스퍼터링 대상은 아르곤 대기에 배치됩니다. 그런 다음 전류가 스퍼터링 대상을 통과하여 기화시킵니다. 기화 된 물질은 기판, 일반적으로 반도체 물질로 분출된다. 이 과정 은 여러 가지 기질 에 박막 "코우팅 '을 형성 하는 데 사용 될 수 있다. ULVAC CERAUS ZX 1000은 다양한 구성에서 스퍼터링 프로세스를 용이하게하도록 설계된 스퍼터링 시스템입니다. 이 장치는 최대 6 개의 기판과 4 개의 스퍼터링 대상을 동시에 처리 할 수 있으며, 이를 통해 많은 양의 균일 한 필름을 효율적으로 생산할 수 있습니다. 이 기계에는 비상 정지 버튼 (Emergency Stop Button), 안전 연동기 (Safety Interlock Machine), 비상 전원 끄기 스위치 (Emergency Power Off Switch) 와 같은 수많은 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이 기능들은 '인력 상해' 나 '기계 자체에 손상' 의 위험없이 안전하게 작동할 수 있습니다. 또한 ZX-1000 자산은 모델 성능을 지속적으로 모니터링하고 운영 효과에 대한 실시간 피드백을 제공하는 자가 진단 (self-diagnosis) 기능을 제공합니다. 또한 고정밀 제어 장치 (high-precision control unit) 를 장착하여 스퍼터링 챔버에 대한 아르곤의 흐름을 정확하게 제어합니다. 이를 통해 아르곤의 정확한 구성을 사용하여 원하는 심해 (deep-deposition) 필름을 달성합니다. 또한 Ceraus ZX-1000 장비에는 자동 필름 두께 제어 시스템도 장착되어 있습니다. 이 단위는 증착 된 필름 (deposited film) 의 두께 (thickness) 를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 즉, 미리 정해진 사양을 충족하기 위해 생산 중에 조정할 수 있습니다. All-in-All CERAUS ZX 1000은 뛰어난 정확성과 신뢰성을 제공하는 고품질 스퍼터링 머신으로, 다양한 업계에서 다양한 스퍼터링 어플리케이션에 적합합니다.
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