판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9180013

ULVAC Ceraus ZX-1000 스퍼터링 장비는 박막 증착을위한 고급적이고 신뢰할 수있는 시스템입니다. 이 장치는 첨단 산업 응용 분야를위한 금속, 산화물, 질화물 및 기타 재료의 박막 (thin film) 을 만들도록 설계되었습니다. 이 기계는 뛰어난 성능과 높은 정확도로 유명합니다. ULVAC CERAUS ZX 1000은 고급 폐쇄 루프 (closed-loop) 공정 챔버를 사용하여 높은 공정 안정성과 정밀도를 달성하는 단일 챔버 스퍼터링 머신입니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 증착실 (Deposition Chamber) 에서 높은 기본 압력을 유지하기 위해 초고진공 (UHV) 포트가 장착되어 있으며, 현재 사용 가능한 가장 높은 증착률을 사용할 수 있습니다. 세라우스 ZX-1000 (Ceraus ZX-1000) 은 박막의 신뢰성, 반복 가능하고 높은 수준의 증착을 보장하기 위해 여러 가지 기능으로 제작되었습니다. 전자 빔 증발 소스와 함께 여러 고출력 DC 및 RF 마그네트론 스퍼터링 소스가 장착되어 있습니다. 스퍼터링 소스는 고급 울트라 하이 주파수 클로즈드 루프 (closed-loop) 전원 제어 및 프로세스 모니터링과 더불어, 향상된 목표 수명과 뛰어난 균일성을 위해 공기 차폐 목표를 사용합니다. 대상 스테이션은 균일 한 필름 두께를 보장하기 위해 선이 일치하며, 이 도구는 큰 4 인치 웨이퍼 (wafer) 에서 작고 단단한 기판에 이르기까지 다양한 기판을 지원합니다. CERAUS ZX 1000은 수동 스퍼터 속도 조정, 높은 진공 펌핑 속도, 고급 가스 혼합 기능, 자동 프로세스 종료, 긴급 정지 등 다양한 안전 기능을 포함하여 광범위한 프로세스 옵션을 제공합니다. 또한 ULVAC Ceraus ZX-1000에는 프로세스 매개 변수를 제어하고 프로세스 결과를 모니터링하기 위해 온보드 통합 PC가 장착되어 있습니다. 고급 제어 (Advanced Control) 소프트웨어를 사용하면 모든 유형의 박막 증착 요구 사항에 대한 에셋을 프로그래밍할 수 있습니다. ULVAC CERAUS ZX 1000 스퍼터링 모델은 박막 증착을위한 업계에서 신뢰할 수있는 플랫폼입니다. 업계의 모든 환경에서 고품질 박막 (Thin Film) 을 생산할 수 있는 유연성을 제공하는 안정적이고 정확한 기계입니다. 고급 기술과 기능을 갖춘 Ceraus ZX-1000은 안정성이 뛰어난 초고성능 박막 (Thin Film) 증착을 위한 최적의 선택입니다.