판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9156841

ULVAC Ceraus ZX-1000은 고급 스퍼터링 장비로, 까다롭고 처리량이 많은 연구 및 제조 작업에 사용하도록 설계되었습니다. 강력한 박막 코팅 (Thin-film Coating) 을 생산하는 한편, 최고의 프로세스 유연성, 정확하고 균일한 증착, 프로세스 안정성을 제공합니다. 이 시스템에는 스퍼터링 시간을 줄이고 생산성을 극대화하기 위해 6 개의 스퍼터 소스가 있습니다. 단일 타겟 또는 이중 타겟 다중 레이어 증착을 위해 소스를 쉽게 구성할 수 있습니다. 통합 로드 잠금은 로드 및 언로드를위한 닫힌 챔버 환경을 제공합니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 데이터 수집 및 녹화를 위한 고급 PC (High-End PC) 가 있는 터치 스크린 패널로 제어됩니다. 이 장치는 마그네트론 스퍼터링, 이중 마그네트론 스퍼터링, 이온 빔 스퍼터링, 반응성 이온 빔 스퍼터링 등 다양한 고급 스퍼터링 기술을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 뛰어난 코팅 품질과 필름 두께 제어를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 또한 DC 직접, AC 펄스 및 4 개의 파동 변조 전원 공급 장치를 갖추고 있으며, 최적 증착 제어 및 스퍼터 속도의 균일성을 제공합니다. 이 도구에는 2 개의 독립적 인 가스 전달 시스템 (동적 및 정적 플라즈마 조건) 이 있으며, 정확하게 제어 된 스퍼터 및 에치 프로세스를 제공합니다. "가스 '는 필름 증착 중 에" 스퍼터' 입자 와 결합 되어 원하는 필름 특성 을 만들 수 있다. 또한 필름 증착을 실시간으로 모니터링하고 제어하는 완전 자동 온라인 프로세스 (online process) 를 제공합니다. 이 자산에는 높은 증착률과 고온 또는 산화물 공정의 최적 결과 (옵션) 를 제공하는 고진공로드 잠금 챔버 (옵션) 가 있습니다. 또한 자동 개선 (Auto-Improvement) 기능 (옵션) 을 사용하면 내부 프로세스 신호를 기반으로 피드백을 제공하여 프로세스 매개 변수와 필름 컴포지션을 최적화하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. ULVAC CERAUS ZX 1000은 까다로운 연구 및 생산 응용 프로그램을 위해 안정적이고 안정적인 스퍼터 모델을 제공합니다. 균일하고 정확한 증착 제어, 프로세스 유연성, 프로세스 안정성 측면에서 탁월한 성능을 제공합니다. 고급 프로세스 제어 기능과 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 는 까다로운 산업용 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.