판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9102244

ULVAC Ceraus ZX-1000
ID: 9102244
웨이퍼 크기: 8"
PVD Systems, 8" P/N: K20246 K20261.
ULVAC Ceraus ZX-1000은 다양한 영화를 제작할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 매우 다양 한 "박막 '증착 과정 과 재료 를 필요 로 하는 사람 들 에게 적합 하다. "스퍼터링 '과정 자체 가" 아르곤' 과 같은 "가스 '로 표적 물질 을 폭격 함 으로써 작용 한다. 이 경우, 표적 물질 은 "가스 '와 그 침전물 에 의하여 기판 에 침식 된다. ULVAC CERAUS ZX 1000 시스템은 이를 염두에두고 설계되었으며, 대상 재료를 증착하는 동안 높은 균일성을 제공 할 수 있습니다. 이 장치의 주요 특징은 다양한 챔버 (chamber) 크기와 모양을 포함한다는 것입니다. 이를 통해 사용자는 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 구성할 수 있습니다. 약실은 대략 거꾸로 된 원뿔 모양으로, 증착이 기질 [11] 을 가로 질러 균일 할 수 있습니다. 표적 "홀더 '는 열 에 강하며, 근로자 가 기판 에 입금 하는 동안, 표적 재료 를 안전 하게 보관 할 수 있다. 세라우스 ZX-1000 (Ceraus ZX-1000) 의 주요 기능 중 하나는 경쟁사와 차별화되는 것입니다. -10 ° C ~ 450 ° C 범위의 온도에서 작동 할 수 있으며, 이는 다양한 응용 분야에 적합합니다. 또한 입자 수 가 낮은데, 특히 "가스 '청소 도구 때문 에" 가스' 를 제거 하는 것 은 물질 이 기판 에 증착 되기 전 에 오염 물질 을 제거 하는 것 을 의미 한다. CERAUS ZX 1000은 또한 압력 및 RF 전력과 같은 매개 변수를 제어 할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자가 필름 구조와 두께를 미세 조정할 수 있습니다. 또한 다양한 컨트롤러 (Controller) 와 안전 장치 (Safety Mechanism) 가 포함되어 있습니다. 여기에는 자동 온도 조절, 대량 흐름 제어, 작동 중 안전을 향상시키는 다수의 연동 시스템 (Interlock System) 이 포함됩니다. ULVAC Ceraus ZX-1000은 다양하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 모델로, 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 이 기능은 다양한 챔버 (chamber) 크기와 모양을 제공하며, 다양한 매개변수를 제어하여 필름 증착의 최적의 조건을 보장하는 기능을 제공합니다. 넓은 작동 범위 (operating range) 와 낮은 입자 수 (low particle count) 는 매력을 더하여 고품질 박막 생산에 이상적입니다.
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