판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #9098787

ULVAC Ceraus ZX-1000은 전자 장치 제조 및 코팅과 같은 많은 산업 및 상업 응용 분야에 사용되는 스퍼터링 시스템입니다. 그것 은 "마그네트론 스퍼터 '증착 과정 을 사용 하여 전자석 의 힘 을 이용 하여 양전하" 이온' 을 표적 물질 을 향해 가속 시킨다. 이 폭격 과정 은 표적 물질 의 원자 들 을 제거 한 다음, 그 기질 물질 의 표면 에 얇은 "필름 '으로 증착 시킨다. ULVAC CERAUS ZX 1000은 단일 챔버 디자인의 소형 머신으로, 실험실 및 대규모 산업 응용 분야에 이상적입니다. 다양한 스퍼터 증착 공정 (sputter deposition process) 과 재료 (material) 를 수용하여 다재다능한 생산 기계로 만들 수 있습니다. -20 ° C ~ 250 ° C 사이의 조절 가능한 기판 온도와 증착 공정의 정확한 제어를 위해 조정 가능한 가스 유량 (gas flow rate) 을 제공합니다. 이 시스템은 0.1 mbar 압력으로 대피 할 수있는 진공 챔버를 특징으로합니다. 진공은 터보 분자 펌프와 기계식 부스터 펌프에 의해 유지됩니다. Ceraus ZX-1000에는 비대칭 스팟 인터록 자석 배열이있는 회전 가능한 음극과 스퍼터링 매개변수 및 속도를 정확하게 제어 할 수있는 RF 생성기가 장착되어 있습니다. 대상 재료는 조정 가능한 대상 높이를 가진 수평 솔리드 스테이트 홀더 (solid-state holder) 에 의해 고정됩니다. 이 시스템은 또한 필름 (film) 의 균일 한 증착과 향상된 프로세스 제어를 위해 회전 및 조절 가능한 기판 홀더를 갖추고 있습니다. 고급 기능 덕분에 CERAUS ZX 1000은 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display), 태양 전지, 반도체 장치 등의 장치 제작에 널리 사용됩니다. 이 기계는 금속 리프트 오프, 섀도우 (shadowing), 오버 에칭 (over-etching) 과 같은 업계에서 사용되는 많은 생산 기술을 수행 할 수 있습니다. 또한 필름 두께가 ± 2.0% 미만인 뛰어난 정밀도를 제공합니다. 또한, 사용하기 쉬운 설계를 통해 빠르고 복잡하지 않은 작업을 수행할 수 있으며, 이는 다양한 유형의 사용자에게 적합합니다.