판매용 중고 ULVAC Ceraus ZX-1000 #293718095

ULVAC Ceraus ZX-1000은 박막 증착 어플리케이션을 위해 고정밀도 및 고급 프로세스 제어를 제공하기 위해 설계된 양질의 스퍼터 증착 장비입니다. 경제적인 플랫폼으로, 하나의 플랫폼 (platform) 하에서 여러 배치 작업의 요구를 충족할 수 있습니다. 시스템의 주요 구성 요소는 챔버, 스퍼터 소스, 공정 제어, 전원 공급 장치, 재료 처리, 진공 장치 및 온도 조절입니다. ULVAC CERAUS ZX 1000의 챔버는 전기 비활성 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되어 최적 필름 품질 및 균일 한 증착을 허용합니다. 그것은 10-6 Torr의 높은 진공 범위와 0-100 sccm의 가스 흐름 제어 범위를 가진 단일 벽 챔버입니다. 또한 챔버에는 N 2 공급 포트, 자기 차폐 보호 링, RF 안테나 및 드레인 플러그가 있어 빠르고 쉽게 유지 관리할 수 있습니다. Ceraus ZX-1000의 스퍼터 소스는 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술을 사용하는데, 이는 고품질의 균일성과 반복 가능성으로 유명합니다. 소스에는 다양한 대상 재료와 RF 고주파 전원 공급 장치가 장착 될 수 있습니다. 또한 지능형 터치 감지 제어 (touch-sensitive control) 가 특징이며, 정확한 증착 매개변수를 제공하는 여러 내장 레시피가 특징입니다. CERAUS ZX 1000의 공정 제어 기계는 정확성과 안정성을 보장하도록 설계되었습니다. 온도 조절, RF 전력 측정, 압력 제어, 잔류 가스 분석 등 다양한 진단 기능이 있습니다. 또한 데이터 스토리지를 위한 내장형 메모리 용량, 포괄적인 통계/도량형 툴 세트, 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 등을 갖추고 있습니다. ULVAC Ceraus ZX-1000의 전원 공급 장치 (power supply) 는 다양한 기판에 걸쳐 최대 수준의 두께를 제공합니다. 이 제품은 1kVA 의 고출력 (High Input Power) 을 갖추고 있으며 0 ~ 100% 의 전력을 정확하게 조정할 수 있습니다. ULVAC CERAUS ZX 1000의 재료 처리 시스템은 수동 또는 자동 옵션으로 제공됩니다. 수동 로드 락 (Manual Loadlock) 에는 손쉬운 포지셔닝을 위해 터치 패드가 장착되어 있으며, 자동 버전에는 한 번에 최대 4 개의 기판을 수용 할 수있는 전동 진공 보조 기판 스테이지가 있습니다. 세라우스 ZX-1000 (Ceraus ZX-1000) 의 진공 공구는 빠른 펌프 다운 시간과 탁월한 유지 보수 성능을 제공하는 터보 분자 설계이며, 추가 보호를 위해 완전 자동 누출 탐지기 및 황삭 펌프가 포함되어 있습니다. 마지막으로, CERAUS ZX 1000의 온도 조절 자산은 기판 온도를 면밀히 모니터링하여 균일 한 필름 성장을 보장합니다. PID 제어를 사용하는 고급 난방 요소를 사용하여 일관된 필름 성장을 제공하며 최대 온도 (450 ° C) 를 제공합니다.