판매용 중고 ULVAC Ceraus Zi-1000N #9053702

ULVAC Ceraus Zi-1000N은 높은 처리량 스퍼터링 응용 프로그램을 위해 설계된 단일 챔버 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 균일 한 필름, 두께, 더 높은 속도 및 개선 된 수율에 최적화되어 있습니다. 혁신적인 고급 설계는 탁월한 생산성과 낮은 소유 비용을 제공합니다. Ceraus Zi-1000N은 ULVAC 고유 말초 스퍼터링 챔버 장치를 사용하여 높은 처리량을 제공합니다. 이 챔버 머신은 공정 챔버의 양쪽에 큰 DC 및 펄스 DC (PDC) 마그네트론을 사용하며, 스퍼터링 속도를 향상시키기 위해 음극에 이온화 전자를 주입 할 수 있습니다. 주변 장치 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 큰 스퍼터링 영역을 생성하여 공구가 매우 균일 한 스퍼터링 프로세스를 수행 할 수 있습니다. ULVAC Ceraus Zi-1000N은 또한 선택적 이온 빔 보조 증착 (IBAD) 기능을 갖추고 있으며, 최적화된 필름 특성을 제공합니다. IBAD 챔버 (IBAD chamber) 는 기존 생산 챔버로 개조되며, 강력한 이온빔 소스를 사용하여 아르곤 (argon) 과 제논 (xenon) 과 같은 입자 종을 스퍼터링 된 필름에 들여 미세 구조 및 필름 경도를 개선 할 수 있습니다. Ceraus Zi-1000N은 유지 보수 친화적이며, 먼지가 생산 실에 들어가는 것을 방지하는 밀봉되고 유연한 환경을 갖추고 있습니다. 자산에는 자동 압력 제어 (Automatic Pressure Control) 가 있어 작동 및 유지 관리가 쉽습니다. PLC (Programmable Logic Control) 모델과 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 로봇도 다운타임을 최소화하여 최소한의 중단으로 장비를 작동시킬 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC Ceraus Zi-1000N은 다양한 응용 프로그램에 적합한 강력하고 다양한 스퍼터링 시스템입니다. 높은 처리량, 균일 한 필름, 향상된 수율, 고급 PLC 장치 및 IBAD 기능을 통해 신뢰할 수있는 스퍼터링 머신을 찾는 사람들에게 이상적인 선택이 됩니다.