판매용 중고 ULVAC CERAUS ZI 1000 #9378914
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ID: 9378914
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
Sputtering system, 8"
CIM: SEMI Auto to CTC
Sputter Zi (LTS with sputter etcher)
PF
(6) Chambers
Transfer, LLA And LLB Chamber
P1 - ICP Etcher
P2 - Degas
P3 - ICP Etcher
P4 - LTS (Ti/TiN)
P5 - LTS (Ti/TiN)
P6 - LTS (Ti/TiN)
Loadlocks:
LLA VCE4, (30) Metal stocker slots
LLB VCE4, (30) Metal stocker slots
Hardware configuration:
Chamber 1: ICP
Chamber 2: Degas
Chamber 3: ICP
Chamber 4: LTS
Chamber 5: LTS
Chamber 6: LTS
In-aligner
In-cooler
Mainframe: BROOKS M800
Wafer mapping: Standard
Transfer MAG 7.1 Robot
Transfer armset MAG 6
3-Axis Bi-symmetric dual frogleg
ULVAC C30ZR Helium compressor
RISSHI CS-1700H Chiller
Handler System
Cables
Metal cover
Power supply rack
Computer with rack
Pump
Front panel
Raise platform & accessories
Process:
Chamber 1: Etch
Chamber 2: Degas
Chamber 3: Etch
Chamber 4: Ti/TiN dep
Chamber 5: Ti/TiN dep
Chamber 6: Ti/TiN dep
Wafer notch alignment
Cooler
Generators:
Chamber 1: DC 1, DC 2, ULVAC RFS05C, RF, AC Bias
Chamber 2: DC 1, DC 2, RF, AC Bias
Chamber 3: DC 1, DC 2, RF ULVAC RFS05C, AC Bias
Chamber 4: DC 1 KYOSAN, DC 2, RF, AC Bias, HPK15Zi
Chamber 5: DC 1 KYOSAN, DC 2, RF, AC Bias, HPK15Zi
Chamber 6: DC 1 KYOSAN, DC 2, RF, AC Bias, HPK15Zi
Turbo pumps:
SHIMADZU 303LM
SHIMADZU 303LM
SHIMADZU 403LM
SHIMADZU 1003LM
SHIMADZU 1003LM
SHIMADZU 1003LM
SHIMADZU 1003LM
SHIMADZU 1003LM
1998 vintage.
ULVAC CERAUS ZI 1000은 선도적 인 진공 코팅 장비 제조업체 인 ULVAC (Ultra-Low Vacuum Apparatus Corporation) 가 만든 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은" 세라믹' 의 표적 과 "Ar '나" He' 와 같은 이온화 된 비활성 "가스 '를 사용 하여 원하는 재료 층 으로 매우 다양 한 재료 를 입힌다. 표적 은 진공실 에 배치 되며, 강력 한 변조 전압 "소오스 '에 의해 표적 을 향해" 이온' 이 가속 된다. 가속 이온과 목표물의 충돌은 나노 (nano) 크기의 입자 대기를 만들어 코팅 물질 (coating material) 이 관찰 된 기판을 정확하게 고착 할 수있게한다. ULVAC CERAUS ZI-1000은 다른 스퍼터링 시스템에서 돋보이는 독특한 성능 기능을 제공합니다. 고급 온도 제어 장치 (Advanced Temperature Control Unit) 는 장기 작업 중에도 정확한 온도 조절 및 안정적인 작동을 가능하게합니다. 이렇게 하면 프로세스 전체에서 코팅이 일관되게 유지됩니다. 또한 사전 점화 (pre-ignition) 머신을 사용하여 시작 시간을 줄이고 효율성을 향상시킵니다. 이 공구는 코팅 재료의 균일 한 증착을 제공하기 위해 설계되었으며, 전체 기판에 걸쳐 높은 균일 성, 우수한 입자 밀도를 갖습니다. CERAUS ZI 1000에는 저압 증착이 가능한 통합 진공 자산이 있습니다. 이 모델의 최대 진공은 1 x 10-3 토르 (1 x 10-3 Torr) 로, 코팅 재료는 기판을 향해 더 효율적인 직선으로 이동하여 코팅 두께를 더 잘 제어 할 수 있습니다. 또한 물 및 안전 인터 록이 특징이며, 안전 보장을 위해 레이저 장애물이 있습니다. CERAUS ZI-1000은 모든 유형의 반응성 스퍼터링 및 열 증발 응용 프로그램에서 우수한 결과를 제공 할 수 있습니다. 그것 은 "폴리머 '로부터 매우 민감 한" 반도체' 에 이르기 까지 매우 다양 한 기판 에서 정확 한 "코우팅 '을 하는 데 이상적 이다. 이 제품은 신뢰할 수 있는 제조업 (Manufacture) 과 뛰어난 성능으로 유명하며, 다양한 산업 분야에 적합합니다.
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