판매용 중고 ULVAC Ceraus Z-1301 #9053700

ULVAC Ceraus Z-1301은 박막의 초정밀 증착을 위해 설계된 차세대 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 3 개의 독립적 인 RF/DC/DC 스퍼터링 소스를 통합 한 정교한 스퍼터링 프로세스를 특징으로하며, 넓은 지역에 대한 증착률과 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 3 개의 스퍼터링 소스는 강력한 PDC (Pulsed DC) 소스로 구동되어 스퍼터링 전원 및 전류를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 다재다능한 Ceraus Z-1301은 다양한 압력, 온도 및 스퍼터링 파워에 유전막, 금속 및 화합물 물질을 증착 할 수 있습니다. ULVAC Ceraus Z-1301에는 정확한 샘플 장착 및 반복 작동을 위해 큰 포맷 샘플 홀더, 로드 잠금 시스템 등 다양한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 이 장치에는 전동 스퍼터링 거리 구성 요소 (motorized sputtering distance component) 가 포함되어 있어 기판-표적 거리가 최대한의 증착 효율성을 위해 최적화되어 있습니다. Ceraus Z-1301은 실시간 데이터 획득 및 모니터링 머신을 통합하여 증착률, 균일성, 기판 편향 등에 대한 실시간 정보를 제공합니다. ULVAC Ceraus Z-1301은 레시피 설정부터 영화 모니터링까지 사용자 친화적 인 작동을 제공합니다. 표준 스퍼터 증착 (sputter deposition) 프로세스와 반응성 (reactive) 및 고전력 증착 (high-power deposition) 과 같은 특수 프로세스를 수행 할 수 있습니다. Ceraus Z-1301은 MIM (metal-insulator-metal) 증착에서 수동 레이어 생성까지, 정밀 광학 구성 요소 코팅에 이르기까지 다양한 박막 증착 작업에 선호되는 도구입니다. 또한, 내장 안전 기능, 고급 프로세스 제어 및 뛰어난 신뢰성을 통해 ULVAC Ceraus Z-1301이 스퍼터 증착에 이상적인 선택으로 두드러집니다. 이 영화는 넓은 지역에 걸쳐 균일 한 증착을 갖춘 고품질 영화를 제작할 수 있으며, 가장 엄격한 증착 요건을 충족시킵니다. ULVAC 펄스 DC 소스가 장착 된 Ceraus Z-1301은 전기 및 광학 부품, 생의학 센서에 이르기까지 다양한 산업 분야에서 박막 증착 응용 프로그램을위한 강력하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다.