판매용 중고 ULVAC Ceraus Z-1101 #293625450

ULVAC Ceraus Z-1101
ID: 293625450
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8" TMP Turbo pump missing.
ULVAC Ceraus Z-1101은 여러 산업 및 연구 응용 프로그램에서 고정밀, 높은 신뢰성 결과를 제공 할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템에는 강력한 스퍼터링 챔버가 있으며, 스퍼터링 소스와 11 "x11" 작업 영역이 내장되어 있습니다. 유리, 플라스틱, 금속 등 다양한 기질에 다양한 나노 입자를 증착 할 수 있습니다. 방은 순수하고 오스테 니틱 한 스테인리스 스틸 (stainless steel) 을 위해 만들어졌으며 스퍼터링 소스와 열적으로 분리되어 있습니다. 이는 정밀도가 높은 결과를 보장하고 샘플의 열 폐기를 방지합니다. Ceraus Z-1101은 RF 기반 스퍼터링 소스를 사용하여 물질을 기판에 침전시킵니다. 원천은 최대 3kW의 전력으로 제공되며, 증착 된 필름의 다양한 두께를 얻기 위해 프로그래밍 될 수있다. Ar, O2, O + N2 및 CO + Ar과 같은 광범위한 플라즈마 생성 가스 및 가스 혼합물을 갖춘 고강도 플라즈마 방전을 방출합니다. 또한, 이 장치에는 3 개의 전극 기계가 장착되어 기판 및 스퍼터링 소스를 독립적으로 작동시키고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 공구가 다양한 두께 (thickness) 와 컴포지션 (composition) 의 재료를 폐기할 수 있으므로 다양한 프로세스와 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. ULVAC Ceraus Z-1101은 또한 피드 스루 하우징이있는 공정 챔버 (process chamber) 를 갖추고 있으며 진공 내 샘플 로딩 및 언로드가 가능합니다. 또한, 자산에 대해 오염을 방지하기 위해 셔터를 주문할 수 있으며, 챔버 (Chamber) 는 최대 40 mbar 의 진공 대기 하에서 작동 할 수 있습니다. 또한 모든 프로세스 매개변수 (process parameter) 및 활동은 설정 제어 소프트웨어에 의해 모니터링되므로 안정적이고, 반복 가능하며, 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 전반적으로, Ceraus Z-1101은 자동차 및 의료 장치 코팅에서 랩 온 칩 (lab-on-a-chip) 장치의 나노 클러스터 퇴적까지 다양한 산업 및 연구 응용 분야에 적합한 강력하고 정밀한 스퍼터링 모델입니다. 사용 가능한 다양한 구성을 통해 유연하고, 사용자 정의 (user-defined) 요구 사항을 충족할 수 있으며, 신뢰할 수 있고, 반복 가능한 결과를 얻어 가장 까다로운 프로젝트에 이상적인 선택이 됩니다.
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