판매용 중고 ULVAC Ceraus Z-1000 #9400323

ULVAC Ceraus Z-1000 (Ceraus Z-1000) 은 스퍼터링 장비로, 정확하게 제어 된 두께에서 다양한 기판에 금속 및 절연체의 필름을 증착하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 이온 원, 챔버 및 탄화수소 없는 펌핑 포트 배열로 구성됩니다. 이온 소스는 RF 발전기로 구동되며 균일 한 스퍼터링을위한 고밀도의 이온 (ion) 을 공급한다. 챔버는 알루미늄 또는 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 온도 조절은 ± 2 ° C 이내입니다. 표적 드라이버에 장착 된 수냉식 대상 (water-cooled target) 배열이 있으며, 표적은 아웃게싱을 방지하고 오염을 최소화하기 위해 ConAg 솔루션 형태로 사전 코팅됩니다. Z-1000 (Z-1000) 은 영구 자석의 강력한 자기장을 가진 단일 극성 마그네트론 스퍼터링 (unipolar magnetron sputtering) 프로세스를 사용하여 전체 웨이퍼에 걸쳐 얇은 필름의 균일 한 증착을 보장합니다. 이온 소스 (ion source) 와 증착 프로세스 (deposition process) 사이에 간섭이 없도록 챔버 내의 컴포넌트가 서로 분리됩니다. "가스 '입구, 외부" 가스' 원 및 "가스 '질량 분광기 의 조절 가능 한 구성 을 통하여 압력 및" 가스' 흐름 과 같은 공정 "파라미터 '를 정확 하게 제어 할 수 있다. Z-1000에는 증착 과정에 대한 실시간 분석을 제공하는 현장 모니터링 장치 (in-situ monitoring unit) 도 있습니다. 이 기계는 필름의 프로파일, 증착률 및 기타 데이터를 기록합니다. 필름 (film) 특성에 대한 증착 후 (post-deposition) 분석이 프로세스를 중단하지 않고도 예상 결과에 대해 분석됩니다. Ceraus Z-1000은 균일 한 박막 증착을 달성하기 위해 고급 플라즈마 기술을 사용하는 매우 정확한 스퍼터 도구입니다. 공정 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 제어하고 증착 프로세스를 정확하게 제어할 수 있도록 현장 (in-situ) 모니터링을 제공합니다. 이 자산은 다양한 기판의 다양한 금속 (metal) 과 절연체 (insulator) 에 적합합니다. Z-1000은 연구 및 장치 응용 프로그램을 위한 효율적인 도구입니다.