판매용 중고 ULVAC Ceraus Z-1000 #9198269

ULVAC Ceraus Z-1000은 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 시스템은 챔버, 스퍼터 소스, 진공 장치, 가스 공급 기계 및 치료 제어 장치로 구성됩니다. 이 공구는 원하는 재료의 박막 (thin film) 을 기판에 배치하도록 설계되었습니다. 스퍼터 챔버는 중앙 플랜지 플레이트가있는 원통형 챔버입니다. 챔버는 스테인리스 스틸로 만들어졌으며 최대 10 torr의 압력 내성이 있습니다. 플랜지 연결을위한 12 인치 직경의 시청 창과 2 개의 4 인치 포트가 있습니다. 방에는 자동 도어 에셋 (automated door asset) 이 장착되어 있어 기판을 쉽게 액세스하고 신속하게 로드/언로드할 수 있습니다. 스퍼터 소스는 ED 건 포트와 Mo 건 포트를 갖춘 다이오드 형 스퍼터 건입니다. 아르 곤 가스 (Argon gas) 에서 생성 된 고밀도 플라즈마를 생성하는데, 이는 기질의 표면을 스퍼터팅하는 데 사용됩니다. 스퍼터 건 (Sputter Gun) 은 가변 전원 제어를 위해 설계된 전원 공급 장치에 연결됩니다. 스퍼터링 과정은 또한 치료 제어 장치를 통해 제어됩니다. 진공 모델은 회전 펌프, 터보 분자 펌프 및 조합 배플 앤 트랩 어셈블리로 구성됩니다. 펌프는 챔버 내에서 깨끗하고 건조한 진공 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 배플 앤 트랩 (Baffle-and-trap) 조합은 스퍼터링 과정에서 생성 될 수있는 오염 물질과 잔해를 제거하는 데 사용됩니다. 가스 공급 장비는 스퍼터링 과정에서 아르곤 가스 (Argon gas) 를 챔버에 도입하도록 설계되었습니다. 스퍼터 건과 진공 시스템 모두에 연결되어 있습니다. "가스 '공급 장치 에는 정교 한 압력" 센서' 가 장착 되어 있는데, 이것 은 약실 내 의 압력 을 감시 하는 데 사용 된다. 이를 통해 스퍼터링 프로세스의 압력이 최적의 수준으로 유지됩니다. 치료 제어 장치 (Treatment Control Unit) 는 스퍼터링 프로세스와 관련된 모든 프로세스를 모니터링하고 제어하는 데 사용됩니다. 온도, 압력 제어기와 같은 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 또한 공정에 대한 다양한 정보 (예: 챔버 내 압력, 온도) 를 표시할 수 있습니다. Ceraus Z-1000은 기판에서 박막 증착에 사용되는 고급 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 입니다. 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 정확하게 제어하고 다양한 스퍼터링 (sputtering) 애플리케이션에 적합한 안정적이고 다양한 툴입니다.