판매용 중고 ULVAC Ceraus Z-1000 #9133525

ULVAC Ceraus Z-1000은 박막 재료를 기판에 원자 적으로 침전하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 유형의 증착은 균질한 재료 레이어가 높은 솔리드 스테이트 컴포넌트를 생성하는 데 이상적입니다. 이 시스템에는 3 개의 Nano Jet 스퍼터링 소스가 장착되어 있으며, 다양한 소스의 재료를 증착하여 증착률이 높고 안정적으로 처리 할 수있는 균질 한 필름을 생산할 수 있습니다. 정밀한 정렬 및 처리를 위해 동력 UFS-3C 단계 덕분에 기판 홀더를 x, y 및 z 방향으로 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 장치는 Winpro 7 제어 소프트웨어 (사용자 친화적 인 그래픽 인터페이스) 를 사용하여 설정과 작동을 용이하게 합니다. 온도는 인라인 300 W RF 생성기를 통해 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이것 은 전체 기판 "홀더 '표면 에 균일 한 기판 온도 를 공급 해 주며, 이것 은 기계 에" 스퍼터' 를 하는 물질 의 안정성 을 보장 해 준다. 온라인 탄화수소 검출기와 수소 cryopump를 갖춘 PDS (Plasma Diagnostic Tool) 는 챔버 압력, 가스 흐름 및 조성을 정확하게 제어하여 일관된 필름 특성과 성능을 유지하는 데 도움이됩니다. Ceraus Z-1000에는 고해상도, 고정밀 OptoScan 분광사진기가 장착되어 있으며, 이는 사용자가 박막 증착의 실시간 모니터링, 인라인 분광 반사도 및 정상 입사 광학 상수 측정 등 다양한 기능을 제공합니다.. 전반적으로 ULVAC Ceraus Z-1000은 뛰어난 품질과 안정성을 갖춘 고급 박막 (Thin-film) 부품을 생산할 수 있는 강력하고 다양한 자산입니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스, 정밀 구형 보정 기판 홀더, 통합 플라즈마 진단 모델 (Plasma Diagnostic Model) 을 통해 안정적이고 사용하기 쉬운 플랫폼에서 일관된 작동을 제공합니다.