판매용 중고 ULVAC Ceraus Z-1000 #9083925

ULVAC Ceraus Z-1000은 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 새로운 스퍼터링 소스 디자인 (Sputtering Source Design) 을 갖춘 컴팩트한 고성능 시스템으로, 높은 스퍼터링 속도, 향상된 증착 균일성, 더 높은 속도의 처리량을 제공합니다. 스퍼터링 소스는 고급 직류 (DC) 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 기술을 사용하여 균일성과 필름 프로파일이 좋은 높은 증착률을 제공합니다. 또한, 이 장치는 정교한 온도 및 압력 제어 (pressure control) 로 설계되었으며, 이는 뛰어난 프로세스 제어 및 재생성을 제공합니다. Ceraus Z-1000은 전압, 압력, 가스 흐름, 기판 온도 등의 스퍼터링 매개변수를 자동으로 제어하는 강력한 컴퓨터 정렬 제어 기계를 갖추고 있습니다. 이를 통해 다양한 박막 재료의 최적의 증착이 가능합니다. 이 도구에는 5 구역 난방 기능이있는 T/E 사파이어 FE 고온 반응로 (HTR), 12kW 전력을 가진 고압 밀도 DC 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 소스 및 완전히 통합 된 정상 및 고진공 펌핑 장치가 포함됩니다. ULVAC Ceraus Z-1000 자산은 많은 박막 응용 프로그램에 이상적입니다. 금속, 반도체, 유전체 및 유기/광사 필름의 증착에 사용될 수 있습니다. 최대 4개의 샘플을 지원하며, 이 샘플은 사각형 (square) 또는 라운드 (round) 구성으로 동시에 로드할 수 있습니다. 최대 107 angström/s의 빠른 스퍼터링 속도로, 이 모델은 빠르고 효율적으로 고품질의 박막을 생성 할 수 있습니다. 또한 Ceraus Z-1000은 situ X- 선 분석, 광학 및 전자 현미경 기술을 포함한 고급 진단 기능을 제공합니다. 이 장비에는 스퍼터링 프로세스를 단순화 할 수있는 통합 AutoTuneTM 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이 시스템은 모든 프로세스 매개변수를 단순하고 직관적으로 제어하여 증착 (deposition) 프로세스의 재생성과 반복성을 보장합니다. ULVAC Ceraus Z-1000은 박막 증착 절차에 이상적인 도구입니다. 컴팩트한 디자인과 강력한 컴퓨터 정렬 제어 장치 (Computer-Aligned Control Unit) 를 통해 뛰어난 프로세스 제어 및 재현성을 제공합니다. 높은 스퍼터링 속도, 높은 전력 전자 사이클로트론 공명 (ECR) 소스 및 현장 진단 기능으로 Ceraus Z-1000은 모든 박막 증착 프로젝트의 요구를 충족시킬 수있는 뛰어난 유연성을 제공합니다.