판매용 중고 TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655335

TRIKON/ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200은 다양한 기판에서 박막 증착을 위해 설계된 매우 다양하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 반도체 장치, 평면 디스플레이 (Flat Panel Display) 및 기타 전자 부품 제조에 이상적입니다. 이 시스템은 다양한 재료 구성 가능성으로 고품질의 균일 한 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다. 여기에는 진공 챔버 (vacuum chamber) 와 3 개의 독립적 인 마그네트론 스퍼터링 헤드 (sputtering head) 가 포함되어 있습니다. 견고한 이온 소스는 스퍼터링 (pre-sputtering) 환경을 제어하여 프로세스 최적화를 통해 원하는 기판 피쳐 크기를 달성합니다. 이 장치에는 자동화된 박막 스퍼터링 조정 및 균일성 제어가 가능한 고급 컨트롤러 제어가 있습니다. 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있도록 광범위한 프로세스 매개변수를 조정할 수 있습니다. 프로세스 상태는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphic User Interface) 를 통해 모니터링됩니다. 이 인터페이스는 증착에 대한 개요를 제공하며 변경 사항을 쉽게 수행할 수 있습니다. MS4200 에는 다양한 추가 기능 (예: 기판 회전의 가변 속도, 모든 대상의 냉각 조절 가능) 이 장착되어 있어 균일성과 정확도를 더욱 향상시킵니다. "챔버 '내 에 있는 여러 가지 작업 영역 을 독립적으로 가열 하여 기계 로 가능 한" 응용프로그램' 의 수 를 극대화 할 수 있다. 유지 보수 기능 제로 (Zero Maintenance) 기능과 탁월한 안전 기능을 통해 MS4200 은 비용 효율적이고 사용자 친화적인 박막 증착 툴로, 연구 개발 실험실에 적합합니다. 이 "에너지 '는 여러 가지" 응용프로그램' 을 위한 광범위 한 재료 에 대한 안정적 이고 일관성 있는 "스퍼터링 '증착 수단 을 제공 한다.