판매용 중고 TRIKON / ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200 #293655332

TRIKON/ELECTROTECH PLASMAFAB MS4200은 정밀 박막 증착을 위해 설계된 다목적 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 쉽게 조절 가능한 회전 가능한 트윈 타겟 쉴드 (twin target shield) 를 갖추고 있어 뛰어난 균일성과 박막 균질성을 제공합니다. 또한 MS4200 은 고효율의 가변 (Variable) 전원 공급 장치를 통해 스퍼터링 (Sputtering) 대상에 전달되는 전력을 정확하게 제어할 수 있습니다. 가변 전원 공급 장치를 사용하면 대상 플럭스 (flux) 및 시스 (sheath) 전압을 조정할 수 있습니다. 또한 스퍼터링 속도 증가를위한 평면 monocrystalline 목표 설계가 있습니다. MS4200은 또한 지속적인 컨디셔닝 및 필름 탈수를 위해 온도 범위가 150 oC ~ 450 oC 인 Uniform Substrate Heater를 갖추고 있습니다. 이 기능은 다양한 기판 크기와 두께에 걸쳐 균일 한 증착을 보장합니다. 히터는 또한 큰 웨이퍼 직경 범위에서 고온 균일성과 안정성을 제공합니다. MS4200 은 또한 가스 유량, 압력, 범위를 조정할 수 있는 모든 기능을 갖춘 가스 관리 장치를 갖추고 있습니다. 또한 RF 생성기와 추가 유연성을 위한 프로세스 제어 (옵션) 가 있습니다. 발전기는 RF 펄스 너비를 조정하여 최적의 필름 균일 성과 접착을 보장합니다. 마지막으로, MS4200은 챔버의 공정 균일성 (process unifority) 및 자궁 밀봉을 유지하기 위해 진공 기계를 공급받습니다. 전반적으로, TRIKON PLASMAFAB MS4200은 뛰어난 밀도, 균일성 및 균일성을 가진 박막을 퇴적시키는 데 이상적입니다. 이 도구의 다기능 (multi-functional) 기능은 사용자가 박막 증착 목표를 달성하는 데 필요한 유연성과 성능을 제공합니다.