판매용 중고 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123644

TRIKON/ELECTROTECH ND-6210은 상세한 다중 계층 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 optoelectronics, hybrid microelectronics, solar cell, gate dielectric, protective coating 및 기타 여러 물리적 증기 증착 공정과 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다. 트리콘 ND-6210 (TRIKON ND-6210) 은 최고 25kV의 전력 등급과 최고 출력 500W의 고급 DC 전원 공급 장치를 갖추고 있습니다. 이는 고전압이 퇴적된 층의 깊이와 균일성을 완전히 제어할 수 있기 때문에 다양한 어플리케이션에 적합합니다. ELECTROTECH ND-6210에는 또한 독립적 인 3 기 제어 기계가 포함되어 있으며, 대상 전류, 전압 및/또는 전력을 제어 할 수 있습니다. ND-6210은 증착 과정에서 장기적인 안정성을 보장하기 위해 강력한 기계 구조를 가지고 있습니다. 이 구조에는 신뢰할 수있는 진공실 및 고정밀 동작 단계가 포함됩니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 대용량 확산 펌프와 2 단계 기계식 펌프를 갖춘 완전 통합 분배 박스 도구입니다. 이것은 최대 5 x 10-9 Torr의 기본 압력을 허용합니다. 모션 스테이지의 낮은 레벨 분석 해상도는 0.1 미크론이며 서보 드라이브 모터 (servo drive motor) 로 작동합니다. 이를 통해 기판 및 대상의 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. TRIKON/ELECTROTECH ND-6210에는 직경이 10cm 인 스퍼터 목표도 내장되어 있습니다. 표적은 직접 증착에 이상적인 도자기, 흑연과 같은 고순도 재료로 제작됩니다. 또한, 스퍼터 대상은 산화물, 질화물, 규소와 같은 비금속 물질을 지원할 수있다. RF 전원 공급 장치 (RF power supply) 는 균일한 레이어 두께를 허용하는 정확한 전원 공급 및 제어 기능을 보장합니다. TRIKON ND-6210은 직관적인 사용자 인터페이스로도 사용자 친화적으로 설계되었습니다. 에셋에는 터치 스크린, 디지털 피드백 표시기 및 프로그래밍 가능한 프로세스 레시피가 포함됩니다. 또한 사용자는 압력, 프로세스 시간, 가스 흐름 속도, 전류 등의 프로세스 매개변수를 쉽게 제어할 수 있습니다. 따라서 스퍼터링 프로세스를 손쉽게 조정하고 실시간으로 증착을 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로 ELECTROTECH ND-6210은 다양한 산업에서 다중 계층 증착에 이상적인 견고한 고성능 스퍼터링 모델입니다. 고급 전원 공급 장치, 독립적 인 3 기 제어 시스템, 견고한 기계 구조, 스퍼터 대상 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 갖춘 ND-6210은 모든 정밀 증착 어플리케이션에 적합합니다.