판매용 중고 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123641

ID: 9123641
웨이퍼 크기: 6"
PECVD System, 6" Process: SiN-SiC (Sio2) Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4 Manuals included.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210은 다양한 산업, 실험실 및 연구 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 스퍼터 증착 시스템은 증착실, 전자기 구동 대상, 관련 전원 공급 장치 및 제어 시스템으로 구성됩니다. 이 장치는 또한 우수한 환경 제어를 위해 가스 전달 기계 (gas delivery machine) 와 정확한 진공 제어를 갖추고 있습니다. 트리콘 ND-6210 (TRIKON ND-6210) 은 금속, 반도체, 안경과 같은 기판 물질에 대한 제어식 스퍼터 증착을 다양한 필름 재료에 허용합니다. 이 도구는 마그네트론 스퍼터링 기술 (magnetron sputtering technology) 을 사용하는데, 이는 박막을 기판 재료에 증착시키는 데 잘 입증 된 기술입니다. 이 "스퍼터링 '기법 은 기판 표면 을" 마그넷' 으로 폭격 하고 필요 한 전원 공급 장치 를 공급 함 으로써 필요 한 특성 을 가진 원하는 박막 재료 를 만든다. ELECTROTECH ND-6210은 최첨단 전자 및 제어 시스템을 사용하여 증착 공정의 정밀한 모니터링 및 제어를 수행합니다. 에셋에는 스퍼터링 조건을 유지하고 최적화하기위한 온도 및 압력 센서가 포함됩니다. ND-6210은 반응성 (reactive) 및 비활성 (inert) 가스의 정확한 흐름 제어를 통해 새로운 수준으로 증착합니다. 이 모델은 폴리머 증착, 스퍼터 에칭 및 다중 대상 구성에도 사용할 수 있습니다. 또한, 장비는 실리콘, 세라믹 및 박막 태양 전지 재료를 포함한 다양한 기판을 통합 할 수 있습니다. TRIKON/ELECTROTECH ND-6210은 고품질 스퍼터링 시스템을 찾는 사람들을 위한 경제적이고 효율적인 옵션입니다. 이 시스템은 우수한 프로세스 제어 (process control), 자동 작동 (automated operation), 기탁된 필름의 탁월한 균일성과 같은 다양한 기능과 이점을 제공합니다. 이 장치는 신뢰성이 높으며, 다양한 산업/연구 환경에서 우수한 성능을 제공합니다.
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