판매용 중고 TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123640
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ID: 9123640
웨이퍼 크기: 6"
PECVD System, 6"
Process: SiN-SiC (Sio2)
Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4
Manuals included.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210은 다양한 appli à ca ½ tion을 위해 설계된 양질의 스퍼터링 장비입니다. 양질의 금 증착 (gold deposition) 에 필요한 모든 기능을 통해이 시스템은 산업 공정 (industrial process) 뿐만 아니라 연구에 이상적인 선택입니다. 이 장치는 2 개의 선형 슬라이드와 1 개의 로터리를 포함하여 3 축 컴퓨터 제어 모션 플랫폼을 기반으로합니다. 이것은 400 x 400 x 70mm의 최대 작업 영역을 만듭니다. 총 3 개의 암이 있으며, 각 암은 최대 4 개의 타겟을 이중 또는 쿼드 구성을 위해 가지고 있으며, 샘플-대상 거리를 무제한으로 제공합니다. TRIKON ND-6210은 고성능 TIV (Turbo Ionization Vacuum) 스퍼터 소스 덕분에 최고 정밀도의 금 증착을 달성합니다. 이 최첨단 기술은 매우 낮은 이온화 속도 (ionization rate) 를 자랑하여 박막 응용 프로그램의 금 증착률을 더욱 줄일 수 있습니다. 한편, 고전압 아크 점화는 높은 증착 속도를 제공합니다. TIV 소스는 또한 짧은 대기 전류를 사용합니다. 즉, 기계는 다른 골드 프로파일 사이를 빠르게 전환 할 수 있습니다. ELECTROTECH ND-6210은 또한 다양한 지원 프로세스 모니터링 도구를 제공합니다. 사용자 친화적 인 터치 LCD 패널은 정확한 스퍼터링 압력 판독값을 제공하며, 원격 압력 제어를 가능하게 합니다. 또한 직접 작업 매개변수 (direct operation parameters) 튜닝을 허용하여 사용자가 증착 프로세스를 완전히 제어할 수 있습니다. 또한, ND-6210은 낮은 아웃 가스 온도를 유지하며 90도 벤딩 가능한 커플 링 (coupling) 을 특징으로하여 공구의 최대 유연성을 보장합니다. 오염을 방지함으로써, 구성 요소의 수명을 확대하고, 깨끗한 공정 챔버를 유지합니다. 요약하면, TRIKON/ELECTROTECH ND-6210은 다양한 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 스퍼터링 자산입니다. 최첨단 터보 이온화 진공 스퍼터 (Turbo Ionization Vacuum Sputter) 소스 덕분에 금의 퇴적에 대한 뛰어난 정확성과 제어를 제공합니다. 지원 프로세스 모니터링 도구, 사용자 친화적 인 터치 LCD 패널, 낮은 아웃가스 온도, 유연한 커플 링으로 매력을 더욱 강화할 수 있습니다.
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