판매용 중고 TRIKON / ELECTROTECH Delta 201 #293621505

TRIKON/ELECTROTECH Delta 201은 다양한 기판에서 박막 증착을 위해 개발 된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 단일 소스 (single-source), 멀티 챔버 (multi-chamber), 오픈 프레임 (open-frame) 스퍼터링 장치로서 광범위한 프로세스 매개변수를 가능하게 하며 연구 및 산업 환경에서 까다로운 애플리케이션에 적합합니다. TRIKON Delta 201은 하중/언로드 챔버, 대형 메인 챔버 및 소형 챔버를 포함하여 스퍼터 코팅을위한 5 개의 챔버를 제공합니다. 챔버는 전자적으로, 공압 적으로 서로 분리되어 있으며, 진공 범위는 0.5 내지 1.0 mTorr입니다. 기계는 높은 증착 균일성을 제공합니다. 조정 가능한 cryo 및 가열 앵커는 기판 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. ELECTROTECH Delta 201은 금속, 도자기, 안경 및 최대 8 인치, 최대 4 인치 두께의 웨이퍼를 포함한 다양한 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 도구에는 선형 (linear), 회전 (rotary) 또는 실험실 수동 전송 로딩 옵션을 선택할 수있는 평평하고 마른 플래튼이 있습니다. 조정 가능한 엔드 존 (end-zone) 높이와 유연한 y-존 (y-zone) 범위를 통해 다양한 기판에 대한 프로세스 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. Delta 201에는 직관적인 인터페이스와 사용자 친화적 인 내비게이션을 갖춘 TRIKON 특허 "TDC-200" Deposition Controller가 장착되어 있습니다. 이 컨트롤러는 모든 프로세스 매개변수 및 레시피에 쉽게 액세스할 수 있는 한편, 5 개의 스퍼터링 챔버를 동시에 제어할 수 있습니다. 컨트롤러에는 RF 초크와 다양한 프로세스 모니터링 기능이 있습니다. TRIKON/ELECTROTECH Delta 201의 스퍼터링 기능은 두 번째입니다. ELECTROTECH 특허 "Icarus" 비활성 가스 샤워가 특징이며, 스퍼터링 효율성을 높이고 광범위한 스퍼터링 프로세스를 제공합니다. Lift-off (tm) 대상 구성은 균일한 스퍼터링, 뛰어난 재료 활용도 및 뛰어난 제어 가능한 필름 두께 프로파일을 제공합니다. 전반적으로 TRIKON Delta 201 스퍼터링 자산은 고급 다용도 증착 모델입니다. 또한, 사용자에게 뛰어난 균일성과 반복 기능을 통해 프로세스 매개변수를 매우 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장비는 뛰어난 재료 활용도, 제어 가능한 필름 두께 프로파일 (film thickness profile) 로 다양한 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 수행할 수 있으므로 다양한 응용 프로그램에 적합합니다.