판매용 중고 TORR CRC-150 #9122386

TORR CRC-150은 TORR Scientific에서 제조 한 종합 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 각종 재료 의 박막 을 기판 에 증착 시키고, 그 두께 를 그 사용자 가 정확 하게 정하는 것 으로 설계 하였다. 이는 다양한 애플리케이션에 맞춘 (tailored) 속성을 가진 샘플을 생산하는 데 이상적입니다. 이 장치에는 4 개의 스퍼터 대상과 2 개의 기판을 수용 할 수있는 충분한 부피의 진공 챔버가 포함됩니다. 챔버는 저항력이 강한 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되며 기본 압력은 약 0.15 Pa입니다. 자동 작동을 위해 디스플레이 모니터와 통합 마이크로 프로세싱 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 진공 챔버에는 이중 패스, 무유 cryopump 및 환기를위한 로터리 밸브도 있습니다. 이 기계에는 특정 금속과 다른 원소의 비율로 필름을 증착 할 수있는 4 총 마그네트론 스퍼터링 소스가 포함되어 있습니다. 기판 홀더는 최대 5cm 크기의 샘플을 수용하도록 설계되었습니다. 기판 홀더를 다양한 위치로 이동하여 최적의 증기 증착 각도 (angle of vapor deposition) 를 가능하게 할 수 있습니다. 박막 증착 시 CRC-150 컨트롤러는 목표-기판 거리 및 스퍼터링 압력 (sputtering pressure) 을 정확하게 제어하고 전압 (voltage) 과 전력 (power) 을 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한, 컨트롤러는 챔버 압력 (chamber pressure) 을 표시하고, 여러 기판을 통해 여러 필름을 증착할 수 있으며, 자동 종점 검출 및 필름 두께 계산을 허용합니다. 또한, 이온 소스는 예금이 어려운 물질의 이온 빔 보조 스퍼터링 (ion beam-assisted sputtering) 도구에 통합된다. 자산의 전원 공급 장치는 스퍼터링 속도 (Sputtering Rate) 와 증착 물질 (Deposited Material) 의 양을 제어 할 수있는 수준에서 DC 및 AC 변동을 모두 제공하도록 설계되었습니다. 마지막으로 TORR CRC-150을 사용하면 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자 정의 설계 및 수정할 수 있습니다. 예를 들어, 모델은 추가 기판 또는 대상 홀더, 또는 사용자 정의 설계 진공 챔버가 장착 될 수 있습니다. 또한, 이 장비는 다른 실험실 장비 (예: 질량 분석기) 와 통합하기위한 인터페이스를 갖추고 있습니다. 결론적으로, CRC-150은 박막 (thin film) 을 높은 정확도, 속도 및 신뢰성으로 기판에 배치하도록 설계된 매우 다재다능하고 고급 스퍼터링 시스템입니다. 재료 연구 개발, 광학 코팅 (optical coating), 반도체 (semiconductor) 애플리케이션 등 다양한 업계에서 사용하기에 적합합니다.