판매용 중고 TORR CRC-150 #73201

TORR CRC-150 스퍼터링 장비는 연구 및 산업 응용 분야에 사용하도록 특별히 설계된 고성능 스퍼터 코터입니다. 다양한 프로세스 애플리케이션 요구 사항에 적합한 안정적이고 강력한 증설 성능을 제공합니다 (영문). 이 용도 가 다양 한 "스퍼터 '" 코우터' 를 사용 하여 여러 가지 기판 크기 와 모양 에 걸쳐 다양 한 재료 를 쌓을 수 있다. CRC-150은 광범위한 프로세스 구성에서 다양한 금속, 산화물, 질화물 및 합금을 처리 할 수 있습니다. TORR CRC-150은 빠르고 안정적인 웨이퍼 호환성을 위해 설계되었습니다. 로봇 웨이퍼 검색 시스템으로 쉬운 웨이퍼 로딩을 제공합니다. 이 장치는 단일 패스 (pass) 작업으로 여러 웨이퍼를 처리할 수 있으며 일관된 결과를 제공합니다. 또한 표준 균일 레이어 증착, 스텝 레이어 증착, 깊은 테이퍼 에치 프로세스 등 여러 증착 모드가 있습니다. CRC-150 스퍼터링 머신에는 고출력 RPS (Remote Plasma Source) 및 고급 스퍼터링 프로세스가 장착되어 있습니다. 이 도구는 균일성이 뛰어난 고품질 코팅 레이어를 생성하고 웨이퍼 (wafer) 표면 전체에 걸쳐 두께를 필름 (film) 할 수 있습니다. 이 자산은 프로세스 챔버 압력, 가스 흐름 속도, DC 및 짧은 펄스 바이어스, 목표 스퍼터 레이트 (sputter rate) 와 같은 제어하기 위해 광범위한 매개 변수를 제공합니다. TORR CRC-150의 견고한 디자인과 견고한 구조로, 우수한 접착 특성을 가진 금속 및 세라믹 필름을 생산할 수 있습니다. 이 모델은 고급 APC (Automated Process Control) 를 통해 증착률, 두께 및 기타 증착 매개변수의 단단한 균일성과 재생성을 생산할 수 있습니다. APC 장비는 생산 중 대상 매개변수를 자동으로 변경하여 변경 조건을 수용할 수 있습니다. 또한 CRC-150에는 처리 중 시스템의 성능을 모니터링하는 실시간 모니터 (real-time monitor) 가 장착되어 있으며 처리 매개변수를 적절히 조정하기 위한 피드백 (feedback) 을 제공합니다. 이 장치는 또한 터치스크린 제어 인터페이스 (touch screen control interface) 를 제공하여 스퍼터링 프로세스의 매개변수를 설정하고 볼 수 있습니다. TORR CRC-150은 광범위한 어플리케이션을 위해 박막 (thin film) 을 정확하게 증착하도록 설계되었습니다. 고품질, 안정성 및 균일성 박막 레이어 생산에 이상적입니다. 비용 효율적이고 효율적인 스퍼터 코터 머신은 런투런 (run-to-run) 가변성을 최소화하면서 정확한 증착 및 프로세스 제어를 제공합니다.