판매용 중고 TOKUDA CFS-4ES #9254477

TOKUDA CFS-4ES는 대규모의 박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 제품은 다양한 기능과 첨단 기술 (Advanced Technology) 을 통해 고객의 산업 요구를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 스퍼터링 시스템은 4 개의 공압 소스를 동시에 수행 할 수 있으며, 이는 일관된 프로세스 결과를 보장하고 생산 효율성을 크게 향상시킵니다. 이 기계에는 강력한 4 소스 DC 마그네트론 스퍼터링 (sputtering) 전원 공급 장치가 장착되어 각 소스에 최대 2000 와트의 스퍼터링 전원을 공급할 수 있습니다. 이것은 압력, 비율, 증착 대상 형상, 스퍼터링 속도를 정확하게 조정 할 수있는 자동 제어 장치 (automated control unit) 와 결합됩니다. CFS-4ES 는 광학 투명 석영 창 (optically transparent quartz window) 을 갖춘 고급 챔버 (advanced chamber) 와 스퍼터링 (sputtering) 과정을 관찰하기 위한 스캐닝 전자 현미경 (scanning electron microscope) 과 같은 여러 가지 구성 요소로 구성됩니다. 그 진공실 에는 기질 의 온도 를 조절 하는 온도계측정 기계 (integrated temperating machine) 와 극저온 도구 (cryogenic tool) 도 있다. 게다가, 저온 에서 증착 으로 인한 오염 을 방지 하는 데 도움 이 되는 "스타트 '와" 스톱' 기능 도 제공 된다. TOKUDA CFS-4ES는 또한 금속, 산화물, 질화물, 중합체, 합금 등을 포함한 광범위한 증착 물질을 제공합니다. 따라서 유전체 재료, 광학 코팅, 촉매 코팅, 하드웨어 코팅, 에너지 저장 장치 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 에셋은 직경 25mm ~ 300mm 크기의 다양한 프로세스와 기판 크기를 지원하며, 부동 기판 홀더 (floating substrate holder) 를 통해 기판과 스퍼터링 대상 사이에 최적의 접촉을 보장합니다. 또한, 이 시스템은 작동이 쉽고, 사용자에게 친숙한 제어 소프트웨어와 함께 제공되며, 사용자는 이 프로세스를 손쉽게 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 또한, CFS-4ES (after-treatment) 모델을 포함하여 스퍼터링 공정에서 방출되기 전에 기질이 적절하게 처리됩니다. 이것 은 "기판 '의 질 이 그 과정 중 에 손상 되지 않도록 하며, 재료 의 균일 한 증착 을 허용 한다. 요약하면, TOKUDA CFS-4ES 스퍼터링 장비는 박막 증착 생산에 사용될 수있는 고급 스퍼터링 시스템입니다. 이 제품은 다양한 자료와 프로세스를 지원할 수 있으며, 사용자에게 친숙한 제어 소프트웨어 (Control Software) 를 통해 손쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, 처리 후 단위 (after-treatment unit) 는 공정 중에 기질의 품질이 손상되지 않도록 보장한다.