판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON PDU-MKIV #9226264

TEL/TOKYO ELECTRON PDU-MKIV 스퍼터링 장비는 다양한 기판에 박막 증착을 위해 설계된 다재다능한 장치입니다. 이 스퍼터링 시스템에는 2 개의 정적 자석을 사용하여 이온화 된 플라즈마를 생성하는 PPM (Parallel Plate Magnetron) 스퍼터링 기술이 있습니다. 그런 다음, 이 "플라즈마 '는 증착 과정 을 위한 균일 하고 지향적 인 물질원 을 제공 하는 데 사용 된다. TEL PDU-MKIV에는 무질량 기판 홀더, 내장 RF (Radio Frequency) 전원 제어 및 다중 가스 분사 장치가 있습니다. 이 기계는 최대 3 개의 스퍼터링 소스를 수용 할 수 있으며, 하나의 소스는 로터리 스퍼터링 소스에 전념하고 있습니다. 첨단 기술과 견고한 구성으로, 깨끗하고 일관된 결과를 보장하며, 반복 가능한 정확성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON PDU-MKIV에는 깨끗한 작업 환경을 보장하기 위해 4 개의 개별 공정 챔버가 있습니다. 첫 번째 챔버에는 최대 300mm 직경 기판을 처리 할 수있는 턴테이블 (turntable) 이 있으며, 기판의 하중 및 하역에 웨이퍼 리프팅 메커니즘을 사용합니다. 두 번째 챔버에는 압력 피드백 제어 (pressure feedback control) 가 포함 된 오염 방지 도구 (anticatamination tool) 가 있으며, 이는 입자 또는 기타 비 모니터링 가스에서 오염을 줄이거나 제거하기 위해 사용됩니다. 세 번째 방에는 스퍼터링 소스 (sputtering source) 가 있으며, 여기서 필요한 재료는 진공실에서 증발됩니다. 사용자는 스퍼터링 프로세스의 속도와 에너지를 제어하여 원하는 필름 두께 (film thickness) 와 구성 (composition) 을 산출할 수 있습니다. "알루미늄 '합금," 몰리브덴', "텅스텐 '및 기타 금속 들 이 가열 되고 녹아 기질 표면 에 균일 하고 균일 한" 필름' 을 형성 하는 증착 도구 가 있다. PDU-MKIV 는 고급 진단 툴 (diagnostic tools) 과 데이터 분석 소프트웨어 (data analysis software) 를 갖추고 있어 자산 사양 및 스퍼터링 프로세스에 대한 빠르고 건전한 조사를 용이하게 합니다. 이 모델에는 진공 침해 경보 (vacuum breach alarm), 안전 연결 (safety interlock) 등 다양한 사용자 친화적 안전 기능이 장착되어 있습니다. 결론적으로, TEL/TOKYO ELECTRON PDU-MKIV는 반복 가능한 정확도로 다양한 기판에 박막을 정확하게 증착 할 수있는 다재다능한 스퍼터링 장비입니다. 고급 진단 도구 (Advanced Diagnostic Tools) 와 데이터 분석 소프트웨어 (Data Analysis Software) 를 통해 사용자가 필요한 경우 신속하게 시스템을 조사하고 문제를 해결할 수 있도록 합니다.