판매용 중고 TED PELLA INC 6002 #9245109

TED PELLA INC 6002
ID: 9245109
Sputtering system PFEIFFER PKD41047A.
TED PELLA INC 6002는 다양한 구성 요소 생산 및 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 RF/DC/DC 반응 스퍼터링 장비입니다. 고성능 전원 공급 장치 (HPP) 와 다중 구성을 통해 AlSiC, 유리, 금속, 세라믹 목표와 같은 다양한 재료를 코팅하는 데 적합합니다. 이 시스템에는 아크 프리, 저진동, RF 소스가 있습니다. RF 소스는 DC/DC 반응성 스퍼터링 챔버와 결합하여이 반응성 스퍼터 앤 아크 (Sputter-and-arc) 기술에 대한 높은 피크 증착률을 나타냅니다. 이 구성을 통해 유닛은 호칭이나 고장 없이 균일 하고 잘 고착 된 코팅을 생성 할 수 있습니다. 고정 및 회전 가능한 대상을 모두 사용하여 프로세스 유연성을 극대화할 수 있습니다. 이 기계는 또한 전원 제어, 승화 및 하이브리드 프로세스를 제공합니다. 이 도구에는 저주파 스퍼터링 응용 프로그램을 위해 설계된 PECVD 증착 포트와 증발 및 스퍼터링에 적합한 DC Magnetron 증착 포트가 있습니다. 이 에셋에는 최적의 코팅 성능과 균일성을 보장하는 자동 플라즈마 (plasma) 설정이 장착되어 있습니다. 표준 프로세스 컨트롤러 (Standard Process Controller) 는 증착 프로세스를 제어 및 모니터링하기 위한 다양한 기본/고급 기능을 제공합니다. 사용자는 매개변수와 설정을 사용자 정의하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 프로세스 제어 (process control) 외에도 다양한 데이터 획득 시스템과 통합하여 온도 및 바이어스 측정을 제공합니다. 사용자 인터페이스를 통해 모든 프로세스 매개변수를 실시간으로 구성하고 모니터링할 수 있으므로 프로세스 제어 (process control) 및 반복 (repeatability) 기능이 우수합니다. 이 장비는 터치스크린 콘솔 (touchscreen console) 을 통해 액세스할 수 있으며, 프로그래밍 및 모니터링 프로세스를 위한 직관적이고 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스가 제공됩니다. 6002 는 (는) 작은 설치 공간이므로 사용자가 추가 설치 공간에 대해 걱정할 필요가 없습니다. 이 장치에는 1 년 보증이 제공되며 TED PELLA INC 고객 서비스 팀이 지원합니다. 이 팀은 질의에 답하고 필요할 때 지원을 제공 할 수 있습니다.
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