판매용 중고 TEAM TECHNIK ITO #293636225

TEAM TECHNIK ITO
ID: 293636225
웨이퍼 크기: 4"-6"
In-line sputtering system, 4"-6".
TEAM TECHNIK ITO (TEAM TECHNIK ITO) 는 스퍼터링 시스템으로, 연구원들이 극도의 정확성과 높은 반복성으로 고급 박막 코팅 및 기능 구조를 개발할 수 있습니다. 시스템은 RF 전원 공급 장치, 프로세스 챔버, 제어 장치 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. RF 전원 공급 장치는 박막 코팅 및 기능 구조를 만드는 데 필요한 에너지를 공급합니다. 전원 공급 장치의 주파수 범위는 10 kHz ~ 60 MHz이며, 다른 수준의 전원 출력으로 조정할 수 있습니다. 이를 통해 박막 코팅과 기능 구조를 다른 두께, 서피스 마무리, 접착 특성 등으로 생성할 수 있습니다. 공정 챔버 (Process Chamber) 는 빠른 가스 흐름 플러시 기능을 통해 최고의 성능과 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 세라믹, 스틸, 폴리 이마이드 및 기타 재료와 같은 다양한 기판을 처리하기위한 스테인리스 스틸 챔버가 특징입니다. 또한 스퍼터링 (sputtering) 과정에서 안정된 온도를 유지하고 챔버 (chamber) 부품의 과열 (over-heating) 을 방지하는 냉각 포트가 있습니다. 제어 장치에는 연산자가 스퍼터링 프로세스를 쉽게 프로그래밍 및 모니터링할 수 있는 GUI (Graphical User Interface) 가 포함되어 있습니다. 이 포괄적 인 인터페이스에는 표적 압력, 산소 유속, 표적 가스 혼합물, 증착 시간 등의 프로그래밍 가능한 매개 변수가 포함됩니다. 레시피 개발, 스퍼터링 파워 레벨 조정 (sputtering power level adjustment) 과 같은 고급 기능을 통해 정교한 실험과 맞춤형 박막 코팅 생산이 가능합니다. 전반적으로, ITO는 고급 박막 코팅 및 기능 구조에 대한 탁월한 정확성, 반복 가능성, 프로그래밍 가능한 매개변수를 제공하는 고성능 스퍼터링 시스템입니다. 연구자들은 전원 공급 장치, 프로세스 챔버 (process chamber), 직관적인 제어 장치 (control unit) 의 조합을 활용하여 생산성 및 제품 품질을 크게 향상시킬 수 있습니다.
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