판매용 중고 TANGO SYSTEMS Topaz #9209449

TANGO SYSTEMS TOPaz는 높은 순도 필름의 증착을 위해 설계된 중앙 제어 스퍼터링 장비입니다. 모듈식 설계를 통합하여 다양한 증착 응용 프로그램에 유연성을 제공합니다. 이 스퍼터링 시스템 (Sputtering System) 은 장치 작업을 제어하고 스퍼터링 매개변수를 전송하기 위한 다양한 입력/출력 포트를 갖춘 주 컨트롤러 장치 (Main Controller Unit) 로 구성됩니다. 이 기계에는 거꾸로 된 마그네트론 음극, 컨트롤러가있는 대피 서브 어셈블리, 진공 도구, 고전압 증폭기, 4 개의 RF 모듈, 공정 배기, 기판 바이어스 및 전원 공급 장치가 포함됩니다. 토파즈 (Topaz) 는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하는 얇고 균일 한 필름을 증착하도록 설계되었습니다. 이 자산은 넓은 지역에 박막 (thin film) 을 입금하고 높은 증착률을 가질 수 있습니다. 또한 강력한 제어 모델 (Control Model) 이 장착되어 여러 응용 프로그램에 대해 프로세스 매개변수를 프로그래밍할 수 있습니다. 이 장비는 넓은 지역에서 밀도 높은 재료에 이르기까지 다양한 특정 증착물 (specific deposition) 을 생성 할 수 있습니다. 기본 컨트롤러 장치의 관점에서 볼 때, 4 개의 RF 드라이브 모듈, 밝기 조정, 전류 제어 등을 수용하도록 설계되었습니다. 4 개의 RF 드라이브 모듈은 스퍼터링 음극에 전원을 공급하기 위해 제공되며, 밝기 조정은 필름 명암을 조절하는 데 도움이됩니다. 전압 "컨트롤러 '도 포함 되는데, 이" 컨트롤러' 는 증착 과정 에 따라 응용 전압 과 전류 를 제어 하는 데 사용 된다. 주 컨트롤러는 또한 필름 증착 온도의 해상도에 대한 온도 감지 기능을 제공합니다. 온도 센서 (temperature sensor) 는 필름 강착 과정에서 기판의 온도를 측정하는 데 사용되며, 필요한 경우 시스템 액츄에이터 (system actuator) 를 사용하여 기판 온도를 조정합니다. 또한 이 장치에는 프로세스 모니터링 및 진단 기능을 제공할 수 있습니다. 사용자가 증착 프로세스를 모니터링할 수 있도록 다양한 기판 (substrate) 및 증착 매개변수 (deposition parameters) 를 표시하는 데 사용할 수 있습니다. TANGO SYSTEMS Topaz 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 에는 독점적 인 자동 프로세스 제어 소프트웨어가 포함되어 있으며, 사용자는 다양한 증착 프로세스를 사용자 정의하고 프로그래밍할 수있는 유연성을 제공합니다. 원하는 결과를 얻기 위해 온도, 증착률 (temperition rate of deposition) 및 기타 매개변수를 제어하는 데 소프트웨어를 사용할 수 있습니다. 이러한 프로세스 매개변수는 요구 사항에 따라 프로그램의 사용자 인터페이스 (user interface) 를 사용하여 수정 및 프로그래밍할 수 있습니다. 자동화된 프로세스 제어 (automated process control) 소프트웨어를 사용하여 자동 데이터 로깅을 사용하여 증착 프로세스를 추가로 분석할 수도 있습니다. 전반적으로, 토파즈 (Topaz) 는 종합적인 스퍼터링 툴로, 최첨단 기술과 효과적인 사용자 인터페이스를 결합하여 박막 (thin film) 을 효율적이고 정확하게 증착 할 수 있습니다. 이 자산은 다재다능하고 효율적이며, 고품질 필름을 높은 증착율로 증착 할 수 있습니다.