판매용 중고 TANGO SYSTEMS Axcela #9249009

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ID: 9249009
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering system, 8" (2) Load locks Transfer chamber with robot ICP Chamber PVD chamber for TSV deposition PVD chamber for RDL deposition.
TANGO SYSTEMS Axcela (TANGO SYSTEMS Axcela) 는 다양한 전문 기능과 고급 기술을 갖춘 스퍼터링 장비로, 업계 최고의 코팅을위한 다양한 재료를 스퍼터링하기에 이상적인 제품입니다. 뛰어난 스퍼터링 균일성, 정확한 스퍼터링 제어, 매우 상세한 프로세스 인터페이스를 제공하여 뛰어난 재료 코팅 및 정확성을 제공합니다. Axcela는 표준 230V 전원 콘센트, 온보드 냉각 수원 (on-board cooling water source) 및 저전력 제어 장치를 사용하여 능동적으로 가열되고 냉각되는 원통형 챔버로 구성됩니다. 또한 수동 또는 옵션 프로그래밍 가능한 컨트롤로 지속적으로 조정 가능한 자체 포함 RF 스퍼터 소스가 장착되어 있어 정확하고 반복 가능한 스퍼터링 (Sputtering) 이 가능합니다. 이 시스템은 설치와 사용이 쉽고, 작동에 필요한 설정과 방향을 최소화합니다. 주요 기능으로는 0-25mTorr 압력 범위 제어, 25-250 와트 RF 전력 제어, 6-12 인치 기판 및 10 위치 회전 샘플 홀더가 있으며, 다양한 응용 프로그램에서 유동적이고 다재다능합니다. TANGO SYSTEMS Axcela는 금속, 합금, 세라믹 및 폴리머에 이르기까지 다양한 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 기판에 고성능 및 다기능 표면을 생성하기 위해 다양한 코팅 (coating) 을 레이어하고 미세하게 제어하는 데 사용됩니다. 조정 가능한 전원 (Adjustable Power) 을 포함한 독보적인 소프트웨어 컨트롤을 통해 사용자는 증착율을 정확하게 조정하고 안정된 프로세스 조건을 신속하게 재현하여 정확하고 일관성 있는 결과를 얻을 수 있습니다. 또한 Axcela에는 웨이퍼 로드/언로드를 용이하게하기 위해 개방형 로드 잠금 도어가 장착되어 있습니다. 또한 데이터 수집 및 제어를 위한 최적의 머신 활용과 전자 모니터링 (Electronic Monitor) 을 위한 높은 처리량 자동 처리를 위해 설계되었습니다. 또한, 사전 설정된 프로세스 시작 (pre-set process start) 및 중지 (stop) 와 같은 fail-safe 기능과 불규칙한 경우에 사용자에게 경고하는 경보 도구가 포함됩니다. 이를 통해 완벽한 프로세스 제어를 통해 안전하고 경제적인 방법으로 고품질, 일관성, 반복 가능한 코팅을 보장할 수 있습니다. 전체적으로 TANGO SYSTEMS Axcela는 전 세계 많은 고급 제조업체 및 연구소에서 사용하는 안정적이고 고급 스퍼터링 자산입니다. 사용자는 견고하고 사용자 친화적이며 프로세스 반복 기능을 향상시켜 뛰어난 코팅 (coating) 결과를 얻을 수 있습니다. 유연성과 다용성으로 인해 많은 코팅 작업에 이상적인 선택이되고, 사용자에게 뛰어난 품질, 비용 효율적인, 다용도 코팅이 제공됩니다.
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