판매용 중고 TAICHUNG SEIKI VVS-SS #293666752
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TAICHUNG SEIKI VVS-SS (Vacuum Vapor Sputtering Equipment - Substrate Sputter System) 는 선두 진공 기계 및 장비 제조업체 인 TAICHUNG SEIKI Co.에서 제조 한 다목적 기판 스퍼터 장치입니다. 스퍼터링 도구 (Sputtering Tool) 는 코팅, 필름 증착 및 기타 관련 프로세스를 위해 다양한 재료의 얇은 층을 기판에 배치하도록 설계되었습니다. 에셋은 코팅 두께와 컴포지션을 정확하게 제어하고 제어해야 하는 어플리케이션에 이상적입니다 (영문). VVS-SS는 스퍼터링 대기를 만들고 제어하는 데 필요한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 이 모델은 깨끗하고, 오염이 없는 환경, 회전 목표 보유자 (rotating target holders) 및 적절한 전력 및 전력을 제공하는 효율적인 전원 공급 장비를 제공 할 수있는 진공실로 구성됩니다. 시스템을 로드 잠금 챔버 (load lock chamber) 와 통합하여 기판을 자동으로 로드 및 언로드할 수도 있습니다. TAICHUNG SEIKI VVS-SS (TAICHUNG SEIKI VVS-SS) 에는 최상의 결과를 위해 안정적인 전압과 전류를 제공할 수있는, 고급적이고 안정적인 전원 공급 장치가 있습니다. 고급 제어판 (Advanced Control Panel) 을 사용하면 정확한 스퍼터링을 위해 필요한 모든 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한, 이 기계는 자산을 원격으로 모니터링하고 제어할 수있는 고급 소프트웨어 제어 도구 (advanced software control tool) 도 갖추고 있습니다. 이 모델은 최대 2 개의 기판을 동시에 스퍼터링 할 수 있으며 금속, 절연체, 반도체, 합금 등 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 증착 과정 전체에서 두께와 균일 성을 제어 할 수 있습니다. 또한, 장비는 효과적인 스퍼터링 작업을 위해 진공 수준을 10-6 torr까지 제공 할 수 있습니다. VVS-SS는 다재다능하고 효율적인 스퍼터링 시스템으로, 박막 증착, 박막 안감, 산화물 코팅 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 또한, 부식 보호, 반사 방지 코팅 증착, 태양 전지 생산에 사용될 수 있습니다. 이 장치는 프로세스를 안정적이고 정확하게 제어할 수 있으므로 예금 두께 (deposit thickness) 와 구성 (composition) 이 가장 정밀합니다. 또한, 기계는 기판 스퍼터링 (sputtering) 을위한 경제적 비용 솔루션을 제공하면서 사용 및 유지 보수가 쉽습니다.
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