판매용 중고 SYSTEM CONTROL TECHNOLOGY / SCT VS-18C #9120860
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ID: 9120860
웨이퍼 크기: 2"
Sputtering system, 2"
Process gases: Ar
Inlet pressure: 10 psig
Flow rate: 100sccm
Compressed air:
Inlet pressure: 70-120 psig,
Flow rate: minimal amounts, intermittent
Gaseous nitrogen
Inlet pressure: 10 psig
Flow rate: 10cfm
Cooling water:
Inlet pressure: 40 psi (minimum differential)
Fitting: 3/4”NPT Female
Flow rate: 6 GPM
Temp: 25°C (Max 40°C)
Resistively: 2500 ohms/cm or higher at 25 deg C
Solid content: <250ppm
pH value: between 7 and 9
Total chlorine: <20ppm
Total nitrate: <10ppm
Total sulfate: <100ppm
Total hardness expressed as calcium Carbonate equivalent: <250ppm
Total dissolved solids: ≤ 640,000 / Specific resistivity (ohms/cm)
Exhaust:
Roughing pump
Pressure: <ATM pressure
Fitting: ISO-63 for Leybold dry pump
Flow rate: 150cfm for Leybold dry pump
380 V, 3 phase, 50 Hz, > 30 amp, 5 wires including neutral and low “Z” ground.
장비 CONTROL TECHNOLOGY/SCT VS-18C는 다양한 진공 및 물리적 증기 증착 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 고출력 음극 스퍼터링 시스템입니다. 이 스퍼터링 장치는 직류 (DC) 마그네트론 소스를 사용하여 기질 물질을 준수하는 기화 코팅 재료를 생성합니다. 이 기계는 음극, 양극 및 극성 스위치로 구성된 소형, 밀봉 된 증착실로 구성됩니다. 또한 컨트롤러 유닛, 고압 챔버 포트 및 최대 섭씨 1000 도의 온도에 도달 할 수있는 25mm 가열 기판 홀더가 포함됩니다. SCT VS-18C 는 최대 16 개의 개별 레시피로 구성된 완벽한 툴 제어, 모니터링 및 스토리지를 제공하는 컨트롤러 유닛 (Controller Unit) 옵션을 제공합니다. 이 자산은 100 mTorr의 진공 범위에서 약 10 Torr, 궁극적 인 진공 압력은 0.5 Torr입니다. DC 전력의 기능으로, 증착율은 0.01 ~ 10 nm/s 사이에서 조정 될 수 있으며, 표면과 미세 구조가 균일 한 박막 제작에 이상적입니다. 다른 조정 가능한 매개 변수는 소스에서 기판 거리, 대상 재료, 기판 홀더 열 및 회전 속도, 이름까지 다양합니다. Model CONTROL TECHNOLOGY VS-18C는 크기가 2 "~ 10" 인 5 개의 다른 모양의 타겟을 선택하여 응용 프로그램의 최적의 대상을 선택할 수 있습니다. 또한, 이 스퍼터링 장비에는 최대 2 바 수준의 재료를 증착 할 수있는 고압 챔버 포트 (옵션) 가 제공됩니다. 기판 홀더 및 리프트에는 시스템의 안전한 작동을 보장하기 위해 다양한 센서 (sensor) 와 자동 제어 (automated control) 가 제공됩니다. VS-18C 장치는 금속 합금 증착, 박막 저항기, X-ray 이미징 및 기타 나노 스케일 장치 제작을 포함한 다양한 연구 개발 응용 프로그램에 사용하도록 설계되었습니다. 또한 복잡한 레이어 증착 또는 고무결 (high-integrity) 물개가 필요한 항공 우주 및 산업 부문에 광범위하게 적용됩니다. MACHINE CONTROL TECHNOLOGY/SCT VS-18C는 강력하고, 다양하며, 광범위한 고성능 박막 재료를 지원하기 위해 지속적인 개방형 운영을 지원합니다. 첨단 기능으로, SCT VS-18C는 정확하고 높은 증착률을 찾는 사람들에게 적합한 솔루션입니다.
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