판매용 중고 SYSTEM CONTROL TECHNOLOGY / SCT VLS 2150 #9240536

장비 제어 기술/SCT VLS 2150은 스퍼터링 시스템으로, 반도체 산업에서 널리 사용됩니다. 이 장치에는 재순환 액체 질소 (LN2) 저수지가 장착되어 있으며, 증착 공정에 대한 저온 스퍼터링을 제공합니다. 이 기계는 물리 및 화학 증기 증착 (PVD 및 CVD) 및 고정밀 온도 조절과 결합 된 기판 냉각을 모두 제공합니다. SCT VLS 2150은 monolithic tilted rotary magnetron (MTM) 을 특징으로하여 광범위한 재료를 스퍼터링하는 데 이상적입니다. Tool CONTROL TECHNOLOGY VLS 2150은 다양한 대화형, 직관적인 연산자 인터페이스를 제공하여 최적화되고 일관된 결과를 보장합니다. 이 에셋은 스퍼터링 (sputtering) 매개변수를 정확하게 설정하고 모니터링할 수 있는 기능을 제공하며, 그래픽 방식으로 스퍼터링 프로세스를 탐색할 수 있습니다. 원격 PC 기반 모니터링 및 제어 모델을 장비에 추가하여 최적의 제어를 할 수 있습니다. VLS 2150에는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 가 있으며, 독립 온도 제어를 유지하면서 최대 5 개의 샘플을 동시에 스퍼터링 할 수 있습니다. 기판 냉각은 시스템에 통합되는데, 이는 반도체 업계에서 더 높은 정밀도 계층을 생산하는 데 중요하다. "기판 냉각기 '는" 기판 냉각기' 와 "기판 냉각기 '를 합친 것이다. 이 단위는 또한 금속, 산화물, 기타 등 다양한 물질의 증착을 처리 할 수 있습니다. 안전 측면에서 Machine CONTROL TECHNOLOGY/SCT VLS 2150에는 터치 스크린 HMI, 트리플 안전 도어 커버 및 인터 락, 공구의 안전한 작동을 유지하기 위해 조절 가능한 배기 공기 흐름 등 다양한 기능이 있습니다. 또한 높은 수준의 자동화 (automation) 를 통해 최고의 안전 표준과 신뢰성이 높은 프로세스를 보장합니다. SCT VLS 2150 스퍼터링 에셋 컨트롤러에는 고급 실시간 스퍼터 증착 제어 (sputter deposition control) 기능과 레시피 관리 및 스토리지 모델이 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 최대 300 개의 레시피를 저장할 수 있습니다. 또한 자동 연산을 포함하여 최고 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 전반적으로, 장비 제어 기술 VLS 2150 스퍼터링 시스템은 반도체 및 관련 산업을 위해 설계된 견고한 장비입니다. 고급 자동화, 정밀한 온도 조절, 대화형 인터페이스 등 다양한 기능을 제공합니다 (영문). 고급 제어 증착을 통해 VLS 2150은 스퍼터링 프로세스를 위해 안정적이고 효율적인 선택입니다.