판매용 중고 SURFACE SCIENCE Workstation #293808640

ID: 293808640
Pulsed Laser Deposition (PLD) system Laser: COHERENT COMPexPro 201F or 205F Wavelength: 248 nm Substrate heater: 1000 °C Substrate rotation: 50 rpm Targets: 4 x 2" Size: 2200 x 850 x 1600 mm³ Water cooling: Included chiller (201F) Laser gases: 20 l Premix 10 l He Built-in gas cabinet Process gases: 2 MFC Channels Automated pressure control Control system: PC Based control Integrated TFT Monitor Power supply: 3×400 VAC/50 Hz or 3×208 VAC/60 Hz.
SURFACE SCIENCE Workstation (SURFACE SCIENCE Workstation) 은 광범위한 연구 및 산업 응용을 위해 정확하고 효율적인 박막 증착을 제공하도록 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 기술 및 엔지니어링을 통합하여 컴팩트하고 사용자에게 친숙한 플랫폼 내에 고성능 스퍼터링 (Sputtering) 기능을 제공합니다. 워크 스테이션 (Workstation) 의 핵심에는 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 가 있는데, 여기에는 에너지 이온이있는 대상 물질을 폭격하여 대상 표면에서 원자 또는 분자를 배출합니다. 이어서, 분출 된 입자는 기판에 침전되어 두께, 조성, 형태와 같은 제어 된 특성을 갖는 박막 (thin film) 을 형성한다. SURFACE SCIENCE Workstation은 금속, 산화물, 반도체 등 다양한 대상 재료를 수용할 수있는 다목적 스퍼터링 메커니즘을 제공하며, 연구원과 엔지니어가 특정 응용 분야에 맞게 박막 특성을 조정할 수 있습니다. 워크스테이션 (Workstation) 의 스퍼터링 프로세스는 증착실 내에서 높은 진공 환경을 유지하는 정교한 진공 장치 (vacuum unit) 에 의해 촉진됩니다. ··· 이 진공 환경 은 주변 대기 의 오염 과 불순물 을 최소화 함 으로써 퇴적 된 "박막 '의 순도 와 질 을 보장 하는 데 중요 하다. 진공기는 터보 펌프 (turbo pump), 극저온 펌프 (cryogenic pump) 와 같은 고급 펌핑 메커니즘을 장착하여 최적의 스퍼터링 성능을 위해 필요한 진공 수준을 달성하고 유지합니다. SURFACE SCIENCE Workstation의 증착실 (deposition chamber) 은 여러 대상 재료와 기판을 수용하여 다용도 박막 증착 구성을 가능하게하도록 설계되었습니다. 이 약실은 온도, 압력, 가스 흐름 매개변수를 정확하게 제어하여 일관되고 재생 가능한 박막 성장을 보장합니다. 또한, 챔버에는 증착 과정 및 박막 특성에 대한 실시간 피드백을 위해 사각형 결정 미생물 (quartz crystal microbalances) 및 분광 타원법 (spectroscopic ellipsometry) 과 같은 현장 모니터링 및 진단 도구가 장착되어 있습니다. 워크스테이션 (Workstation) 의 스퍼터링 소스는 마그네트론 스퍼터링 툴로, 스퍼터링 프로세스의 효율성과 균일성을 향상시킵니다. 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 는 자기장을 사용하여 스퍼터링 중에 생성 된 플라즈마를 제한하여 스퍼터링 속도가 높고 기판 표면에 걸친 필름 커버리지가 향상됩니다. SURFACE SCIENCE Workstation은 평면 마그네트론 (planar magnetron) 과 원통형 마그네트론 (cylindrical magnetron) 을 포함한 다양한 마그네트론 구성을 제공하여 특정 증착 요구 사항을 충족하고 박막 품질을 최적화합니다. 워크스테이션 (Workstation) 의 제어 자산은 스퍼터링 프로세스의 정확하고 직관적인 작동을 가능하게 하는 고급 소프트웨어 (advanced software) 에 의해 구동됩니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 연구자와 운영자는 증착 매개변수 (deposition parameters) 를 설정하고, 프로세스 변수를 모니터링하며, 쉽게 박막 특성을 분석할 수 있습니다. 또한 데이터 로깅 (Data Logging) 및 스토리지 (Storage) 기능을 통해 연구 및 개발 목적으로 종합적인 문서화 및 증착 실험 분석 작업을 수행할 수 있습니다. 결론적으로 SURFACE SCIENCE Workstation은 연구 및 산업 응용을위한 고급 박막 증착 기능을 제공하는 최첨단 스퍼터링 모델입니다. 고성능 스퍼터링 메커니즘, 정교한 진공 장비, 다재다능한 증착실, 마그네트론 스퍼터링 소스, 직관적인 제어 소프트웨어 등을 갖춘 워크스테이션 (Workstation) 은 연구원과 엔지니어에게 박막 재료와 속성을 탐색하고 최적화하는 강력한 도구를 제공합니다.
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