판매용 중고 SUNIC Sunicoat 522L #9144238

SUNIC Sunicoat 522L은 다양한 기판에서 금속, 다층 구조 및 고 특이 적 저항 물질의 증착 과정을 위해 설계된 옵토 전자 스퍼터링 장비입니다. 에너지 필름, 광학 코팅, 디스플레이, 평면 패널, 웨이브 가이드, 광학 저장 매체 등의 생산 및 코팅에 사용됩니다. Sunicoat 522L에는 2 열 자기 배열과 통합 된 자기 강화 평면 마그네트론이 장착되어 있습니다. 이를 통해 더 높은 속도와 더 낮은 기판 온도에서 다양한 대상 물질을 스퍼터링 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 매우 매끄러운 스퍼터 증착을위한 3 개의 구역 선형 전기 격리 스퍼터 챔버를 갖추고 있습니다. 또한, 이 장치에는 광학 및 평면 패널 응용을위한 알루미늄 및 구리 층의 증착을 위해 동력 화 된 상호 회전 헤드 (motorized mutual rotation head) 가 장착되어 있습니다. SUNIC Sunicoat 522L은 뛰어난 프로세스 제어 및 반복 능력을 갖춘 고성능, 비용 효율적인 스퍼터링 프로세스를 제공합니다. 또한 GFI (Ground Fault Interrupter) 와 로드/라인 브레이크 보호 (Load/Line Breakage Protection) 를 갖춘 최강의 안전성과 간편한 운영 패널을 통한 단순하고 직관적인 작동으로 설계되었습니다. 온도 조절 (temperate control) 을 통해 강한 일정성을 가지며 넓은 영역 기판에서 연속적이고 균일 한 증착을 수행 할 수 있습니다. 스퍼터링 외에도, Sunicoat 522L은 통합 이온 소스 (ion source) 를 통해 균일 한 프로파일로 높은 속도로 이온화 증착을 허용합니다. 이것은 투명 전도성 산화물 (TCO), 유전체, 금속 및 다중 층 필름과 같은 광범위한 프로세스를 용이하게합니다. 내장 진단 시스템은 스퍼터 전류와 균일성을 모니터링합니다. 경보 도구는 안전하고, 효율적이며, 정확한 코팅 프로세스를 보장합니다. 전반적으로 SUNIC Sunicoat 522L은 고성능 스퍼터 증착에 사용하기 쉽고 효율적인 솔루션을 제공합니다.