판매용 중고 SPUTTERED FILMS INC / SFI Shamrock 5 #9315279

SFI (SPUTTERED FILMS INC) SPUTTERED FILMS INC/SFI Shamrock 5는 박막의 고정밀 증착을 위해 설계된 물리적 증기 증착 (PVD) 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 평면 패널 디스플레이, 광전자 제품, 에너지 저장 장치, 박막 광전지 (Thin Film Photovoltaic Cell) 등 다양한 산업에서 생산 스퍼터링 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. SFI Shamrock 5는 반복 가능하고 일관된 필름 증착 결과를 제공하는 단일 소스, 전체 범위 스퍼터 증착 장치입니다. SPUTTERED FILMS INC Shamrock 5는 PVD 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 효율적인 진공 내 자기 다중 마그네트론을 사용합니다. 마그네트론 (Magnetron) 은 최대 4 개의 스퍼터링 소스로 작동 할 수 있으며, 우수한 균일 증착 특성을 가지고 있습니다. 진공 챔버는 우수한 플라즈마 균일 성과 낮은 미립자 생산을 제공하도록 설계되었습니다. 샘플 스테이지의 로드 용량은 50kg이며 360도 회전하고 수동으로 0 ~ 45도 기울어지거나 원격으로 제어 할 수 있습니다. 캐리어 가스 전달 기계는 산소 또는 아르곤을 장치에 공급하며 분당 0 ~ 500 입방 센티미터 (cubic centi) 의 흐름 범위를 가질 수 있습니다. Shamrock 5에는 전체 PVD 프로세스를 제어 할 수있는 완전히 통합 된 프로세스 제어 도구가 있습니다. 여기에는 기판 온도 모니터링, 조정 가능한 프로세스 매개변수 및 실시간 프로세스 모니터링이 포함됩니다. 에셋에는 SPC (Statistical Process Control) 모델에 대한 인터페이스와 문서 프로세스 및 품질 제어 데이터가 포함됩니다. SPUTTERED FILMS INC/SFI Shamrock 5는 대부분의 금속, 합금, 세라믹 재료 및 유기 재료를 입금 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 특수 응용 프로그램에 대한 모노 및 이중 계층 증착을 지원합니다. 이 시스템은 수동으로 또는 원격으로 작동할 수 있으며, 다양한 디지털 (digital) 및 아날로그 (analog) 장치로 인터페이스될 수 있습니다. 이 장치에는 데이터 획득, 분석, 프로세스 제어를 위한 다양한 소프트웨어 프로그램, 기기가 제공됩니다. 전반적으로, SFI Shamrock 5는 광범위한 증착 프로세스에 적합한 효율적이고 고정밀 스퍼터링 기계입니다. 이 도구의 고급 프로세스 제어 자산은 일관되고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 모델은 작동이 간편하며, 프로세스 매개변수를 원격으로 제어하고 실시간으로 결과를 모니터링할 수 있는 기능을 사용자에게 제공합니다 (영문).