판매용 중고 SPUTTERED FILMS INC / SFI Endeavor #293626681
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ID: 293626681
웨이퍼 크기: 6"
Sputtering system, 6"
(3) DC Sputter chambers
Ion mill
Cassette
Handles
Pressure gauges
Power supplies
Missing parts:
Backing pumps for turbo pumps
Cryo pump
Compressor.
SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor는 초박막 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. SFI Endeavor는 초고속, 균일 및 접착 코팅을 생성 할 수있는 고급 폐쇄 루프 (closed-loop) 피드백 스퍼터링 프로세스를 사용합니다. 이 시스템은 고출력 DC 마그네트론 스퍼터링 관리 장치, 산소 포함을위한 전자 사이클로트론 공명원 (electron cyclotron resonance source for oxygen), DC 전력을위한 선형 전원 공급 장치 (linear power supply for DC power) 및 다양한 교환 가능한 목표를 갖춘 다양한 기술을 갖추고 있습니다. 증착 일관성. 스퍼터링 필름 (SPUTTERED FILMS INC) Endeavor 스퍼터 목표 디자인은 균일 한 증착률을 보장하는 한편, 플라즈마 밀도 및 이온화를 정확하게 제어 할 수 있도록 조정 가능한 RF 전력 수준을 제공합니다. 특허를 획득한 프로세스는 기계식 (mechanical-motor) 대상 포지셔닝 및 패턴을 사용하여 스퍼터 코팅의 균일성과 제어성을 보장합니다. 기계가 사용하는 고급 기술은 높은 증착률을 보장하고, 입자를 제거하고, 이온 폭격 손상을 제거합니다. 이 도구는 코팅 된 재료의 사용자 정의 경도로 인해 증착 품질을 보장하도록 설계된 최적의 압력 (Optimum Pressure) 및 온도 제어 (Temperature Control) 자산을 사용합니다. 노력 스퍼터링 모델은 매우 다재다능하며, 여러 레이어/스택 응용 프로그램 및 다른 기판에 대한 복잡한 구조를 허용합니다. 전자 부품, 자동차 부품, 안경, 첨단 마이크로-옵틱 (micro-optic), 의료 장비 등 다양한 용도에 적합합니다. 또한, SPUTTERED FILMS INC/SFI Endeavor는 개선 된 최종 제품을 달성하기 위해 제어 및 정확성이 향상되어 뛰어난 도구 성능을 제공합니다. SFI Endeavor (SFI Endeavor) 는 고급 스퍼터링 장비로, 각 응용프로그램 및 증착층의 정확한 요구 사항에 적합한 장비입니다. 고급 클로즈드 루프 피드백 스퍼터링 (closed-loop-feedback sputtering) 프로세스는 일관되고 균일 한 필름 증착을 보장하는 반면, 사용자 친화적 인 소프트웨어는 우수한 결과를 제공합니다. 교환 가능한 대상을 선택하면 탁월한 다재다능성이 가능하며, SPUTTERED FILMS INC Thin-film Deposition Application에 이상적인 시스템을 제공합니다.
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